Hattın üzerinde
Sıcaklık kayması, beyaz tahta problemi değildir. Bu, çizgi genişliği varyasyonu, yumuşak pişirme sonrası yapışmayan fotoresist ve ay sonunda hissettiğiniz verim kaybı olarak ortaya çıkar. Litografi ve fotoresist işleminde, pişirme adımı termal bütçeyi belirler. Eğer sıcak bölge, wafer üzerinde belirlenen sıcaklıkta tutamıyorsa, tekrarlanabilirlik bozulur. Etrafında ne inşa ettik 2700W’lık şeffaf kuvars kızılötesi tüpü, sürecin ihtiyaç duyduğu yerde stabil ısı sağlamak amacıyla tasarladık. Kuvars, kısa dalga kızılötesini temiz bir şekilde ilettiği için tepki hızlıdır ve kontrol sıkı kalır. 2700W’lık güç, kapı döngülerinden sonra hızlı bir şekilde toparlanmak için gereken güç yoğunluğunu sağlar ve aşımı önler. Isıtılan alan boyunca, wafer seviyesinde ±0.1°C içinde uniformite hedefliyoruz, böylece kritik boyutlar her seferinde standartlarda kalır. Üretimde neden dayanıklı Bu tüp, yumuşak pişirme ve sert pişirme istasyonları için termal yığına doğrudan yerleştirilir, fotoresist profillerinin tutarlılığını korumasına yardımcı olur ve kusurlar için daha fazla marj sağlar. Temiz odalarda, D sınıfı 1’den D sınıfı 100’e kadar düşük gaz salınımı ve hiçbir parçacık üretimi ile çalışır, bu nedenle wafer üzerindeki parçacık sayıları ile mücadele etmezsiniz. Kazanç, daha iyi süreç toleransı, daha az sapma ve planlayabileceğiniz bakım aralıklarıdır. Enerji de disiplinli kalır çünkü tüp, minimum bekleme kaybıyla talep üzerine ısınır. Dikkat edilmesi gerekenler Şeffaf kuvars performans gösterir, ancak saygı gerektirir. Temiz eldivenlerle kullanın ve sınıf dereceli aparatlar kullanın; aksi takdirde yüzey kontaminasyonu riski taşır. Yansıtıcı geometrisini ve hava akışını tüpe uygun hale getirin; aksi takdirde sıcak noktalar ve dengesiz uniformite geri dönecektir. Montajda termal-mekanik strese hazırlanın. Termal genleşme gerçektir ve hizasızlık, zamanla uniformitenin kaymasına neden olacaktır.