Hat üzerinde, FOWLP termal bütçeyi sınırına kadar zorlar. Reflow veya epoksi sertleşmesi sırasında bir sıcak nokta oluşursa, o geniş fan-out die yapıları kaymaya başlar. Geleneksel ısıtıcılar sapar ve panel genelindeki sıcaklık dağılımı warpage, boşluklar ve zayıf elektriksel bağlantılar olarak ortaya çıkar.
Durum şu: bu fan-out wafer seviye paketleme ısıtıcısını yarı iletken standart gereksinimlerine uygun olarak tasarladık, pazarlama amaçları için değil. Aktif bölge genelinde sıcaklık ±0.1°C tolerans içinde tutuluyor, böylece her lokasyon aynı termal profile sahip oluyor. Temiz oda uyumlu, Class 1–100 ve partikül üretimi sıfıra yakın olacak şekilde mühendislik tasarımlı. Yüzey malzemeleri ve sızdırmazlıklar, günlük metrologi levhalarında kritik olan kontaminasyonun düşük kalması için seçildi.
Tekrarlanabilir fotoresist pişirme performansı elde edilir—hem soft bake hem de hard bake—set noktaları sıkı tutulur ve ısınma/rampa profilleri reçetenizden sapmadan takip edilir.
FOWLP süreci sıkıdır: kalıp, pişirme, seed uygulama, kaplama ve reflow. Bu ısıtıcı termal katmanı stabilize eder, böylece hatlar arası tekrarlanabilirlik gelişir ve Cpk değeri yükselir. Daha iyi sıcaklık uniformluğu warpage ve gerilimi azaltır, bu da daha ince substratlar üzerinde daha az hurda anlamına gelir.
Enerji tüketimi de azalır çünkü sistem set noktasına hızlı ulaşır ve temiz bir şekilde tutar—gereksiz aşırı düzeltme olmaz. 24/7 çalışmaya uygun şekilde tasarlanmıştır, planlanabilir bakım aralıkları ve daha az ani duruş ile. Sonuç olarak, wafer başına elde edilen kaliteli die sayısı artar, revizyon işleri azalır ve vardiya bazında güvenilir çıktı sağlanır.
Isıtıcı standart FO WLP ekipmanına takılır ancak montaj arabirimi ile termal yol chuck ve platen ile uyumlu olmalıdır. Kendi uygulamanıza özgü ısıtma oranlarını ve aşım değerlerini ayarlamak için kısa bir devreye alma çalışması planlayın.
Sıcaklık uniformluğunun devamı, stabil soğutma akışı ve tutarlı temas basıncına bağlıdır, öncelikle bunların kesinleşmesi gereklidir. Bunlar sağlandıktan sonra ±0.1°C spesifikasyonu sadece bir vaat olmaktan çıkar ve rutin çalışma haline gelir.