На етапі літографії якість продукції залежить від точності контролю температури. Навіть незначна зміна температури на 2°C під час процедури „м’якого випалювання“ може порушити стабільність параметрів CD. А якщо процес випалювання є нерівномірним? Це призводить до нерівностей на краях ліній на поверхні пластини. Тож ми створили нагрівач на основі вуглецевих нанотрубок, щоб усунути необхідність урахування температурних факторів під час сушіння пластин, попереднього випалювання фоторезисту та фінального випалювання.
Що є важливим у цьому пристрої
Нагрівач використовує елементи на основі вуглецевих нанотрубок для швидкого та стабільного надання інфрачервоної енергії. Він забезпечує однорідність температури на всій поверхні пластини з точністю до ±0,1°C. Час реакції становить менше секунди, тож температура не перевищує допустимих значень – тонкі шари залишаються захищеними, а енергоспоживання залишається на низькому рівні. Пристрій підходить для використання в чистих приміщеннях класів 1–100; під час роботи не утворюється жодних частинок. Він забезпечує надійну роботу протягом 24/7 у виробничих умовах. Ефективність пристрою зберігається протягом понад 5 000 годин – зі зниженням ефективності менше ніж на 5%. Це забезпечує однакову якість продукції у різних партіях.
Ось як це виглядає на виробничій лінії: процедура „м’якого випалювання“ забезпечує однорідність характеристик фоторезисту. Фінальне випалювання стає більш предсказуваним. Пластини виходять сухими та проходять перевірку без необхідності повторної обробки. Чіткий контроль температури скорочує час очікування під час запуску процесу, зменшує кількість відходів та економить енергію, оскільки тепло направляється саме туди, де це потрібно. Це дозволяє значно скоротити час виконання процедур, не втрачаючи при цьому стабільності параметрів CD. Крім того, не потрібно часто замінювати нагрівачі – ця система на основі вуглецевих нанотрубок забезпечує стабільну роботу протягом тривалого часу.
Кілька практичних порад перед використанням пристрою: необхідно дотримуватися специфікацій щодо напруги та типу роз’єму пристрою. Також важливо забезпечити оптичну налаштуваність для однорідного освітлення поверхні пластини. Нагрівач працює найкраще, коли камера є герметичною – протяги можуть спричинити незначні коливання температури. Рекомендується провести короткий тестовий запуск для налаштування параметрів пристрою під конкретні умови використання.