На лінії зміщення температури не є проблемою, яку можна вирішити на дошці. Воно проявляється у вигляді варіацій ширини лінії, фоточутливих матеріалів, які не прилипають після м’якого випікання, та втрат врожайності, які ви відчуваєте наприкінці місяця. У літографії та обробці фоточутливих матеріалів етап випікання встановлює термічний бюджет. Якщо гаряча зона не може утримувати задану температуру по всій пластині, повторюваність порушується.
На чому ми зосередилися
Ми розробили інфрачервону трубку з прозорого кварцу потужністю 2700W навколо однієї речі: стабільного тепла там, де це потрібно в процесі. Кварц чисто передає короткохвильове інфрачервоне випромінювання, тому реакція є швидкою, а контроль залишається точним. Рейтинг 2700W забезпечує вам щільність потужності для швидкого відновлення після циклів відкриття дверей без перевищення. По всій нагрітій площі ми націлюємося на однорідність на рівні пластини в межах ±0.1°C, тому критичні розміри залишаються в специфікаціях з одного запуску на інший.
Чому він витримує виробництво
Ця трубка безпосередньо інтегрується в термічний стек для станцій м’якого та твердого випікання, що допомагає підтримувати послідовність профілів фоточутливих матеріалів і надає більше запасу на дефекти. Вона працює в чистих кімнатах від класу 1 до класу 100 з низьким виділенням газів і без утворення часток, тому вам не потрібно боротися з кількістю часток на пластині. Результат — краща толерантність до процесу, менше відхилень і періоди обслуговування, які ви можете планувати. Енергія також залишається контрольованою, оскільки трубка нагрівається за вимогою з мінімальними втратами в режимі очікування.
На що звертати увагу
Прозорий кварц працює, але його потрібно поважати. Обробляйте його чистими рукавичками та використовуйте кріплення, що відповідають класу — в іншому випадку ви ризикуєте поверхневим забрудненням. Підбирайте геометрію відбивача та повітряний потік відповідно до трубки; якщо цього не зробити, гарячі точки та нерівномірність знову з’являться. Заплануйте термічно-механічні навантаження в кріпленні. Термальне розширення є реальним, і невірне вирівнювання призведе до зміщення однорідності з часом.