На заводі з виробництва полімірів температура процесу випалювання визначає не лише якість продукту, але й товщину його шару. Навіть незначне зміщення температури на 0,5°C може призвести до порушень у якості продукції. Якщо додати ще й генерацію частинок під час циклів роботи ламп, то якість продукції значно погіршиться.
Вам потрібна температура, яка буде стабільною та точною, і яка може бути використана без необхідності перепрофілювання всього обладнання.
Ми постачаємо напівпровідникові лампи, які підлаштовані під теплові та електричні характеристики міжнародного обладнання. Таким чином ви отримуєте ефективну заміну для вашого обладнання. Профілі короткохвильового та середньохвильового випромінювання підлаштовані для забезпечення теплової однорідності на рівні пластини – відхилення температури не перевищує ±0,1°C під час критичних етапів випалювання.
Кварцові та галогенні елементи забезпечують швидке досягнення потрібної температури та стабільну роботу лампи. Це дозволяє контролювати тепловий бюджет та захищати делікатні шари матеріалу. Сумісність з приміщеннями класу 1–100 також гарантована. Відсутність генерації частинок підтверджується через контроль під час запуску та охолодження лампи. Драйвер розрахований на цілодобову роботу; термін служби лампи становить понад 5 000 годин, а зниження потужності – менше 5%.
У процесі літографії та обробки фоторезисту точність температури має вирішальне значення для якості продукції та часу її виробництва. Ці лампи стабілізують процес випалювання, підвищують точність результатів та зменшують вплив старіння лампи чи теплових коливань.
Ви можете продовжувати використовувати ті самі процеси та обладнання, а також зменшити споживання енергії завдяки ефективному та швидкому досягненню потрібної температури. Надійність означає менше несподіваних зупинок та можливість планування технічного обслуговування.
Лампи сумісні зі стандартними роз’ємами та драйверами, але необхідно перевірити напругу, тип з’єднання та механічні параметри відповідно до вашого обладнання. Деяке старіше обладнання потребує калібрування прошивки для правильного визначення інтенсивності випромінювання – ми надаємо інструкції з цього приводу.
Робота лампи під напругою, нижчою за номінальну, може подовжити її термін служби, але також може сповільнити процес випалювання. Необхідно підлаштувати криву випромінювання відповідно до характеристик фоторезисту.