На виробничій лінії вимкнення однієї з ламп у пристрої типу RTP призводить не лише до призупинки роботи самого пристрою, а й до зупинки всієї лінії. У результаті пластини не отримують необхідної температури обробки. Профілі фоторезисту починають змінюватися. Раптово погіршується контроль товщини шару та його стабільність. Лампи Mattson розроблені так, щоб забезпечити стабільну температурну обробку, чистоту процесу та безперервну роботу пристрою.
Що є важливим у конструкції ламп
Ми використовуємо галогенні лампи з короткохвильовим випромінюванням для швидкого та точного нагрівання, а також для стабільної спектральної характеристики. Це дозволяє досягти температурної однорідності на рівні ±0,1°C в активній зоні. Для складових, які використовуються в конструкції ламп, обираються кварцові матеріали через їх низький рівень випаровування та високу стійкість до теплових ударів. Кількість частинок, які утворюються під час роботи лампи, залишається мінімальною, що дозволяє дотримуватися стандартів чистих приміщень класу 1–100 без переривання роботи. Лампи розраховані на цілодобову роботу; дані з практичного використання показують, що вони можуть працювати понад 5,000 годин зі стабільною інтенсивністю випромінювання та мінімальними змінами параметрів. Сила струму та напруга підбираються відповідно до характеристик пристроїв Mattson; механічні з’єднання також підтримуються в суворих толерансах, щоб забезпечити стабільну роботу пристрою.
У процесах літографії та обробки фоторезисту критично важливими є параметри температури та стабільність процесу. Коли наші лампи забезпечують потрібний профіль температури, процеси видалення розчинників та зв’язування молекул відбуваються саме так, як передбачено. Це забезпечує стабільність результатів обробки, мінімум відходів та передбачувані терміни виконання завдань. Використання енергії зменшується, оскільки лампа швидко досягає потрібної температури та підтримує її без перевищень. Менше замін ламп означає менше перерв у роботі та менше проблем з частинками.
Ось практичні деталі, які забезпечують стабільну роботу ламп. Під час встановлення необхідно дотримуватися суворих правил щодо контролю електростатичного заряду та правильного крутного моменту при закріпленні лампи – інакше можуть виникнути проблеми з температурним розподілом та нестабільною роботою пристрою. Тип з’єднувачів та налаштування калібрування також повинні відповідати характеристикам пристрою; невідповідність прошивки може призводити до незначних змін параметрів лампи. Потрібно також передбачити період налаштування лампи перед початком її ефективної роботи. Необхідно також провести контрольну серію випробувань для перевірки однорідності параметрів та якості роботи лампи перед значним збільшенням обсягів виробництва.