Як позбутися озону під час висушування та закріплення напівпровідників
Під час виробництва напівпровідників „чистота“ – це не просто бажання, а обов’язкова умова. Необхідно, щоб процеси висушування та закріплення не залишали жодних слідів – жодних залишків речовин, жодних хімікатів.
Проблема полягає у тому, що багато старих методів нагрівання просто не можуть відповідати сучасним екологічним стандартам. Саме тут на допомогу приходять наші інфрачервоні лампи без озону.
Проблеми з „стандартними“ інфрачервоними лампами
Стандартні короткохвильові інфрачервоні лампи випромінюють світло в діапазоні від 185 нм до 250 нм. Коли це світло потрапляє на кисень у повітрі, утворюється озон.
У чистих приміщеннях озон є справжньою проблемою – це забруднювач, який пошкоджує чутливі компоненти та робить повітря неприємним для людей, які там працюють.
Ми вирішили цю проблему, використовуючи спеціальну кварцову оболонку з фільтруючим покриттям. Це своєрідний „щит“, який блокує випромінювання у УФ-діапазоні (саме воно спричиняє утворення озону), але дозволяє теплу проникати всередину. Таким чином ви отримуєте необхідне тепло, але без жодних хімічних забруднень.
Встановлення ламп у ваше обладнання
Ці лампи здатні створювати велику кількість тепла в невеликому просторі. Оскільки енергія передається через випромінювання, а не через конвекцію, не потрібно марнувати час на нагрівання всієї камери. Тепло потрапляє безпосередньо на матеріал. Це значно економить енергію.
Але є одна застереження: потрібно стежити за щільністю потужності. Якщо ви використовуєте лампи з високою потужністю для прискорення процесу закріплення, температура може стати дуже високою. Обов’язково переконайтеся, що вентилятори та радіатори здатні впоратися з таким навантаженням. Інакше може статися розтріскування кварцу чи плавлення контактів – а ніхто не хоче мати з цим справу у середу вранці.
Практичне застосування
Ми бачимо, що люди замінюють свої старі конвекційні печі на ці лампи під час висушування матеріалів чи обробки фоторезистів. Це проста заміна – не потрібно встановлювати складні та дорогі системи вентиляції для видалення озону з повітря. Достатньо лише підключити лампи, встановити час нагрівання – і матеріал швидко досягне необхідної температури.
Це більш екологічно, швидше, і це також відповідає глобальним екологічним стандартам, не ускладнюючи при цьому роботу.