Забезпечення повної чистоти під час нагрівання ваферів
Коли ви працюєте у чистій кімнаті класу 100, тут немає жодних можливостей для помилок. Один-єдиний дрібний частинок пилу чи трохи газів, які виділяються з елемента нагріву, може значно знизити ефективність процесу. Це справжній кошмар.
Саме тому ми відмовилися від стандартних матеріалів та почали використовувати синтетичний кварц високої чистоти для наших ІЧ-ламп.
Чому кварц насправді так важливий
Більшість видів скла не підходять для цілей. Вони тріскаються під дією теплових ударів чи просто не є достатньо чистими для роботи з напівпровідниками. Ми використовуємо сплавлений кварц із низьким вмістом гідроксильних груп. Це означає, що лампа не буде випускати мікроскопічні частинки кремнезему під час нагрівання та охолодження. Крім того, кварцева оболонка забезпечує щільний герметичний ущільнювач. Філамент залишається на своєму місці, подалі від середовища, в якому відбувається процес обробки.
Тепло саме там, де потрібно
Наші ІЧ-лампи фокусують енергію в дуже вузькій спектральній смузі. Це найкраще – ви можете досягти потрібних температур на поверхні вафера, не перетворюючи всю конструкцію лампи на „піч“. Процес нагрівання відбувається дуже швидко. Але є одна проблема: через таку концентрацію тепла необхідно правильно налаштувати систему охолодження. Якщо потік повітря не налаштований коректно, можуть виникнути проблеми з конструкцією лампи чи її датчиками. Це компроміс, але він того вартий заради швидкості.
Без клею, без частинок пилу, без проблем
Ми розробили ці лампи так, щоб їх можна було легко замінити. Ми знаємо, що перерва в роботі є ворогом, тож зробили їх простими у заміні. Ми також відмовилися від клеїв та покриттів. Чому? Тому що ці матеріали з часом починають відшаровуватися. Натомість ми використовуємо механічні ущільнювачі, які залишаються щільними навіть у умовах вакууму чи контрольованої атмосфери. Це просто, механічно та ефективно.
Порада
Пам’ятайте, що кварц високої чистоти є крихким. Він може витримувати екстремальні температури, але не любить вібрацій. Якщо кріплення лампи не є герметичним, лампа може трястися та розірватися. А коли герметичність порушується, філамент швидко згорає. Тож тримайте лампу нерухомо – тоді вона буде працювати належним чином.