Інфрачервоний on Quality Infrared Heating Products

Прозора кварцова інфрачервона трубка 2700W

Fri, 05 Jun 2026 04:01:52 +0800

На лінії зміщення температури не є проблемою, яку можна вирішити на дошці. Воно проявляється у вигляді варіацій ширини лінії, фоточутливих матеріалів, які не прилипають після м’якого випікання, та втрат врожайності, які ви відчуваєте наприкінці місяця. У літографії та обробці фоточутливих матеріалів етап випікання встановлює термічний бюджет. Якщо гаряча зона не може утримувати задану температуру по всій пластині, повторюваність порушується.
На чому ми зосередилися
Ми розробили інфрачервону трубку з прозорого кварцу потужністю 2700W навколо однієї речі: стабільного тепла там, де це потрібно в процесі. Кварц чисто передає короткохвильове інфрачервоне випромінювання, тому реакція є швидкою, а контроль залишається точним. Рейтинг 2700W забезпечує вам щільність потужності для швидкого відновлення після циклів відкриття дверей без перевищення. По всій нагрітій площі ми націлюємося на однорідність на рівні пластини в межах ±0.1°C, тому критичні розміри залишаються в специфікаціях з одного запуску на інший.
Чому він витримує виробництво
Ця трубка безпосередньо інтегрується в термічний стек для станцій м’якого та твердого випікання, що допомагає підтримувати послідовність профілів фоточутливих матеріалів і надає більше запасу на дефекти. Вона працює в чистих кімнатах від класу 1 до класу 100 з низьким виділенням газів і без утворення часток, тому вам не потрібно боротися з кількістю часток на пластині. Результат — краща толерантність до процесу, менше відхилень і періоди обслуговування, які ви можете планувати. Енергія також залишається контрольованою, оскільки трубка нагрівається за вимогою з мінімальними втратами в режимі очікування.
На що звертати увагу
Прозорий кварц працює, але його потрібно поважати. Обробляйте його чистими рукавичками та використовуйте кріплення, що відповідають класу — в іншому випадку ви ризикуєте поверхневим забрудненням. Підбирайте геометрію відбивача та повітряний потік відповідно до трубки; якщо цього не зробити, гарячі точки та нерівномірність знову з’являться. Заплануйте термічно-механічні навантаження в кріпленні. Термальне розширення є реальним, і невірне вирівнювання призведе до зміщення однорідності з часом.

Інфрачервона лампа для відпалу напівпровідників

Tue, 02 Jun 2026 05:59:06 +0800

На виробничому майданчику зсув температури на 1°C під час відпалу або випікання фоторезисту не дає про себе знати — він просто зменшує ваш запас за однорідністю CD і суміщенням. Вафель не йде на компроміси. Він або проходить, або ні.
Ми розробили наші інфрачервоні лампи для відпалу напівпровідників так, щоб теплові параметри залишалися в межах технологічного вікна, цикл за циклом.

Що справді важливо під капотом
Наші NIR-лампи забезпечують швидкий, прямий нагрів wafера, а ми підтримуємо однорідність на рівні wafer ±0.1°C по всьому полі експозиції. Короткохвильова реакція відстежує встановлені параметри з точністю до часток секунди, тому профілі підйому температури залишаються точними відповідно до рецепту.
Кварцові компоненти та розроблені відбивачі забезпечують нульове утворення часток, що критично при роботі в чистих приміщеннях класу 1–100. Відтворюваність виходу зберігається понад 5,000 годин з дрейфом менше 5%. Замкнутий контур керування з інтегрованим температурним зворотним зв’язком фіксує тепловий бюджет, що гарантує стабільність як м’якого, так і твердого випікання від партії до партії.

Лінійний інфрачервоний нагрівальний випромінювач

Sun, 31 May 2026 13:57:59 +0800

На лінії пластина не чекає. У вас є кілька секунд, можливо, і в цей проміжок фоточутливий шар має отримати той самий температурний профіль, що й попередня партія — і наступна. М’яке випікання. Жорстке випікання. Тепловий бюджет суворий, а прийнятне енергетичне вікно вимірюється міліджоулями.
Гаряча точка. Холодний край. Зсув на кілька десятих градуса — і критичний розмір змінюється, візерунки піднімаються або частинки вбудовуються у плівку. Якщо нагрівання не зафіксоване, вихід продукції також не гарантований.
Ми розробили лінійні інфрачервоні нагрівальні випромінювачі саме для таких випадків — масове виробництво, де однорідність температури, поведінка в чистому приміщенні та час безвідмовної роботи є базовими вимогами. Випромінювач забезпечує відтворюване локалізоване нагрівання підкладки з точним контролем і підтримує кроки випікання фоточутливого шару, сушіння пластин та інші теплові процеси, де теплова маса низька, а допуски дуже жорсткі.