لیتھوگرافی کے عمل میں، پیداواری صلاحیت درجہ حرارت پر منحصر ہے۔ 2°C کی تبدیلی بھی سی ڈی کنٹرول کو خراب کر سکتی ہے، اور غیر یکساں حرارتی عمل سے لائنوں کی سطح ناہموار ہو جاتی ہے۔ اسی لئے ہم نے کاربن نینو ٹیوبوں سے بنایا گیا ہیٹر تیار کیا، تاکہ ویفروں کو خشک کرنے، فوٹو ریزسٹ کو پہلے خشک کرنے، اور حرارتی عمل کے دوران درجہ حرارت کو کنٹرول کیا جا سکے۔
ہیٹر کے اندر کیا اہم چیزیں ہیں؟ یہ ہیٹر کاربن نینو ٹیوبوں کے ذریعہ تیز اور مستحکم انفراریڈ توانائی فراہم کرتا ہے، اور ویفروں کے درجہ حرارت کو ±0.1°C کے اندر برقرار رکھتا ہے۔ ردِعمل صرف چند سیکنڈ میں ہوتا ہے، اس لئے درجہ حرارت بہت زیادہ نہیں بڑھتا۔ اس سے پتلی فلمیں محفوظ رہتی ہیں، اور حرارتی استعمال کنٹرول میں رہتا ہے۔ یہ کلین روم میں بھی استعمال کیا جا سکتا ہے، اور اس سے کوئی ذرات پیدا نہیں ہوتے۔ یہ 24/7 کام کرنے کے لئے مناسب ہے، اور 5,000 گھنٹوں سے زیادہ استعمال کے بعد بھی اس کی کارکردگی میں 5% سے کم کمی آتی ہے، اس لئے مختلف بیچوں میں بھی اس کی کارکردگی یکساں رہتی ہے۔
پلانٹ میں اس کا کیا اثر ہے؟ “سافٹ بیک” کے ذریعہ فوٹو ریزسٹ کی سطح یکساں رہتی ہے، اور “ہارڈ بیک” کے ذریعہ عمل دہرایا جا سکتا ہے۔ ویفر خشک ہوکر آتے ہیں، اور دوبارہ کام کی ضرورت نہیں پڑتی۔ مضبوط حرارتی کنٹرول سے ویفروں کو گرم ہونے میں لگنے والا وقت کم ہو جاتا ہے، فضول مال کم ہو جاتا ہے، اور توانائی کی بچت ہوتی ہے، کیونکہ حرارت صرف اسی جگہ پہنچتی ہے جہاں اس کی ضرورت ہے۔ اس طرح سی ڈی کی استحکام برقرار رہتی ہے، اور ہیٹروں کو بار بار تبدیل کرنے کی ضرورت نہیں پڑتی۔
استعمال سے پہلے چند اہم نکات: آپ کو آلے کے وولٹیج اور کنیکٹر انٹرفیس کو مناسب کرنا ہوگا، اور ویفر پر روشنی کی یکسانیت کے لئے آپٹیکل الائنمنٹ بھی اہم ہے۔ جب چیمبر بند ہوتا ہے، تو ہیٹر بہترین کارکردگی دکھاتا ہے؛ کیونکہ باہر کی ہوا سے درجہ حرارت میں تغیرات پیدا ہو سکتے ہیں۔ اپنے فوٹو ریزسٹ کے لئے ریمپ ریٹ اور سیٹپوائنٹ کو درست کرنے کے لئے ایک مختصر ٹیسٹ رن کریں۔