لیتھوگرافی کے عمل میں، اگر پانی کا استعمال کرکے سطح کو صاف کیا جائے، تو اس سے پانی کے نشانات یا غیر یکساں حرارت پیدا ہوسکتی ہے؛ یہ کوئی چھوٹی سی خرابی نہیں، بلکہ یہ تو ذرات کے جمع ہونے اور سائز سے متعلق غلطیوں کا سبب بن سکتا ہے۔ لہذا، ضروری ہے کہ حرارت تیزی سے پہنچے، سطح صاف ہوجائے، اور یہ عمل بغیر کسی رکاوٹ کے دہرایا جائے—بغیر اس بات کے کہ پانی یا ذرات دوبارہ سطح پر جمع ہوجائیں۔
کیا چیزیں اہم ہیں؟
ہم نے رینج کرنے کے مرحلے کے لئے واٹرپروف انفراریڈ لیمپ تیار کیا ہے؛ یہ شارٹ-ویو انفراریڈ (SWIR) قسم کا لیمپ ہے، جس میں کوارٹز کی باڈی، ہیلوجن فلامنٹ، تیز ردِعمل، اور مستحکم آؤٹ پٹ شامل ہے۔ ایسی لہر کی لمبائی کا انتخاب کرنا ضروری ہے جسے پانی آسانی سے جذب کر سکے؛ اس طرح سطح تیزی سے گرم ہوجاتی ہے، لیکن سطح کو نقصان نہیں پہنچتا۔ ہدف والے علاقے میں درجہ حرارت کو ±0.1°C کے اندر رکھنا ضروری ہے، تاکہ فوٹوریزسٹ کی خصوصیات برقرار رہیں۔
لیمپ کا ڈیزائن IP67 معیار کے مطابق ہے؛ اس میں سیلز موجود ہیں، اور یہ زنگ سے محفوظ ہے؛ لہذا یہ نم دار ماحول اور تیز کلینرز کے اثرات سے بچ سکتا ہے۔ یہ کلاس 1–100 کے کلین رومز کے لئے مناسب ہے، اور اس کے ذریعہ آپریشن کے دوران کوئی ذرات پیدا نہیں ہوتے۔
یہ ڈیزائن کیوں مناسب ہے؟
ویفر کی صفائی اور خشک کرنے کے عمل میں، سطح کو خشک اور بغیر کسی آلودگی کے رکھنا ضروری ہے۔ انفراریڈ لیمپ سطح کو فوراً خشک کردیتا ہے، لہذا عمل کا وقت کم ہوجاتا ہے، اور DI پانی کا استعمال بھی کم ہوجاتا ہے۔ تیز ردِعمل اور مستحکم کنٹرول کی بدولت، رینج کرنے کے بعد فوٹوریزسٹ کی خصوصیات برقرار رہتی ہیں۔ واٹرپروف ڈیزائن کی بدولت، رساو کی وجہ سے ہونے والی مشکلات سے بچا جاسکتا ہے، اور مستحکم آؤٹ پٹ کی بدولت 24/7 کام جاری رہ سکتا ہے، بغیر زیادہ کیلیبریشن کی ضرورت کے۔
کیا چیزیں درست کرنے کی ضرورت ہے؟
انسٹالیشن کے دوران، لیمپ کی جگہ کا درست تعین اور فاصلہ کا درست تعین ضروری ہے۔ روشنی کی تقسیم کو برقرار رکھنے کے لئے، فاصلہ مناسب رکھنا ضروری ہے، تاکہ کوئی گرم نقطہ نہ پیدا ہو، لیکن پورا علاقہ روشن رہے۔ لیمپ سطح پر بہت گرم ہوتا ہے، لہذا تھرمل آئسولیشن اور انٹرلاک وائرنگ ضروری ہے۔ لہر کی لمبائی اور پاور ڈینسٹی کو رینج کرنے کے عمل اور ویفر کی خصوصیات کے مطابق رکھنا ضروری ہے، تاکہ مطلوبہ نتائج حاصل ہوسکیں۔