Hãy ngừng để quá trình sấy khô phá hủy hiệu suất sản xuất của bạn!
Nếu bạn đang vận hành phòng sạch loại 100, chắc hẳn bạn đã biết rõ những khó khăn mà nó mang lại. Chỉ cần một hạt bụi nhỏ hoặc một mảnh vụn từ bộ phận gia nhiệt dính vào wafer cảm biến MEMS, thì khả năng tạo ra sản phẩm chất lượng cao sẽ giảm sút. Điều này thật đáng thất vọng, và thực tế, chi phí để khắc phục tình trạng này cũng rất cao.
Đó là lý do tại sao chúng tôi chuyển sang sử dụng đèn IR làm từ thạch anh tổng hợp có độ tinh khiết cao. Không có mảnh vụn nào, không có khí độc được giải phóng – chỉ có ánh sáng nhiệt sạch sẽ mà thôi.
Tại sao thạch anh lại quan trọng đến vậy?
Hầu hết các loại kính thông thường đều không thể chịu đựng được nhiệt độ cao mà không bị vỡ hoặc giải phóng ra các chất hữu cơ dễ bay hơi. Chúng tôi sử dụng thạch anh vì nó vẫn giữ được tính ổn định ngay cả trong điều kiện nhiệt độ cao.
Hãy coi lớp vỏ bao bọc bằng thạch anh như một “kho chứa” – nó giúp ngăn không cho sợi wolfram tiếp xúc với môi trường trong phòng sạch. Bạn vẫn có thể nhận được nhiệt lượng cần thiết, nhưng không có sự tiếp xúc vật lý nào xảy ra, và cũng không có luồng khí nào có thể mang theo chất bẩn lên wafer. Đây là cách làm việc an toàn hơn nhiều.
Làm thế nào để điều chỉnh nhiệt độ một cách chính xác?
Bí quyết khi sấy khô bằng công nghệ MEMS là phải di chuyển nhanh. Bạn cần làm bay hơi nhanh chóng các chất lỏng dùng để rửa wafer, nhưng bạn không thể để wafer bị quá nóng.
Đèn IR của chúng tôi sử dụng bức xạ sóng ngắn, giúp xuyên qua lớp chất lỏng một cách dễ dàng. Chúng tôi có thể điều chỉnh mức công suất và điện áp sao cho phù hợp với kích thước wafer cụ thể của bạn. Điều này giúp việc sấy khô trở nên hiệu quả hơn.
Nhưng cần lưu ý: khi bạn sử dụng đèn ở mức công suất tối đa để rút ngắn thời gian sấy khô, phần đầu đèn sẽ trở nên rất nóng. Bạn cần đảm bảo rằng vỏ đèn có hệ thống tản nhiệt tốt hoặc được làm mát bằng nước. Nếu không, khung phòng sạch của bạn có thể bị biến dạng, và điều đó thì chắc chắn không ai muốn gặp phải.
Kết nối và vận hành đèn
Chúng tôi chọn loại kết nối tiêu chuẩn. Tại sao? Vì chúng ta muốn những chiếc đèn này có thể thay thế dễ dàng cho các mô-đun sấy khô hiện có. Chúng có kích thước nhỏ, vì vậy bạn có thể đặt chúng gần wafer hơn để tăng hiệu quả sấy khô. Chúng tôi cũng loại bỏ việc sử dụng keo dán và lớp phủ – những thứ này rồi cũng sẽ bong tróc theo thời gian. Thay vào đó, chúng chỉ được kết nối một cách máy móc mà thôi.
Và khi đèn hết tuổi thọ? Bạn chỉ cần thay thế nó thôi. Không cần phải mất hàng giờ để điều chỉnh lại toàn bộ hệ thống điều nhiệt trong phòng sạch nữa. Bạn có thể tiếp tục làm việc ngay lập tức.