Bộ phát nhiệt hồng ngoại dạng tuyến tính

Trên dây chuyền, tấm wafer không chờ đợi. Bạn chỉ có vài giây, có thể, và trong khoảng thời gian đó, lớp photoresist phải trải qua cùng một biểu đồ...