标签为“清除”的页面如下 清晰石英红外管 2700W 在线温度漂移问题 在生产线上,温度漂移并不是一个可以在白板上解决的问题。它表现为线宽变化、光刻胶在软烘烤后无法粘附,以及你在月底感受到的良率下降。在光刻和光刻胶处理过程中,烘烤步骤设定了热预算。如果热区无法在晶圆上保持设定点,重复性就会崩溃。 我们构建的基础 我们围绕一个目标设计了2700W的清石... Read more...
清晰石英红外管 2700W 在线温度漂移问题 在生产线上,温度漂移并不是一个可以在白板上解决的问题。它表现为线宽变化、光刻胶在软烘烤后无法粘附,以及你在月底感受到的良率下降。在光刻和光刻胶处理过程中,烘烤步骤设定了热预算。如果热区无法在晶圆上保持设定点,重复性就会崩溃。 我们构建的基础 我们围绕一个目标设计了2700W的清石... Read more...