可与真空环境兼容的红外加热器
利用真空红外技术减少半导体加工过程中的碳排放
制造半导体需要极高的精确度,但在高真空环境中进行加工则意味着巨大的能源消耗。大多数工厂仍然依赖电阻式加热方式,这就好比试图通过加热整个锅来让一颗豌豆变热一样——效率极低,而且会浪费大量电能,从而加剧碳足迹。
我们则采用不同的方法:使用与真空环境相兼容的...
真空室红外加热器
在半导体制造过程中减少碳排放:为何真空红外加热器如此有效?
让我们来谈谈热能管理的问题。在半导体工厂中,热能管理至关重要。但如果仍然使用传统的电阻式加热方式,那就相当于为了将一块晶圆加热到合适温度而浪费大量能源。这无疑是一种巨大的能源浪费,也是导致工厂碳排放量居高的主要原因之一。
我们找到了更好的...