用于晶圆的精密红外传感器

停止给机器加热，转而直接为晶圆加热吧。 如果你们曾经处理过硅晶圆，就会知道这有多麻烦。需要精确的控温，但普通的红外灯很难实现这一点——它们的辐射会向四周扩散。问题在于，这些能量并不只作用在晶圆上，还会照射到设备的内壁。这样一来，昂贵的处理腔体就变成了一个巨大的“散热器”。这不仅浪费能源，还存在安全...