半导体退火红外灯

在晶圆厂车间，退火或光刻胶烘烤过程中1℃的温漂不会主动提醒你——它只是逐渐侵蚀你在CD均匀性和叠层对准上的裕度。晶圆没有讨价还价的余地——要么通过，要么不通过。 我们设计的半导体退火红外灯，能够确保热行为始终保持在工艺窗口内，循环稳定。 真正关键的技术指标 我们的近红外灯通过快速的直接耦合加热作用...