লিথোগ্রাফি প্রক্রিয়ায়, উৎপাদনের মান ডিগ্রির ভিত্তিতে নির্ধারিত হয়। সফট বেকিংয়ে ২°C এর মতো পরিবর্তনই CD-এর নিয়ন্ত্রণকে নষ্ট করে দেয়; আর অ-সমান তাপ-নিয়ন্ত্রণ হলে লাইন-এজের অসমতা দেখা দেয়। তাই আমরা কার্বন ন্যানোটিউব ব্যবহার করে একটি হিটার তৈরি করেছি; এর ফলে ওয়েফার শুকানো, ফটোরেজিস্ট প্রি-বেকিং এবং হার্ড বেকিংয়ের ক্ষেত্রে তাপ-নিয়ন্ত্রণ সহজ হয়ে যায়।
কী গুরুত্বপূর্ণ?
এই হিটারটি কার্বন ন্যানোটিউব ব্যবহার করে দ্রুত ও স্থিতিশীল ইনফ্রারেড শক্তি সরবরাহ করে। এর ফলে ওয়েফারের তাপমাত্রা ±0.1°C এর মধ্যে থাকে। প্রতিক্রিয়ার গতি সেকেন্ডের মধ্যেই হয়; ফলে তাপমাত্রা অতিরিক্ত হয় না। ফলে পাতলা ফিল্মগুলো সুরক্ষিত থাকে এবং তাপ-নিয়ন্ত্রণ ভালো থাকে। এটি ক্লাস ১–১০০ এর সব ক্লিনরুমে ব্যবহার করা যায়; কার্যকরী অবস্থায় এটি কোনো কণা উৎপন্ন করে না। উৎপাদন প্রক্রিয়ায় এটি ২৪/৭ ঘন্টা নির্ভরযোগ্যভাবে কাজ করে। ৫,০০০+ ঘন্টা ধরে এর কার্যকারিতা কমে না; ফলে বিভিন্ন ব্যাচেও উৎপাদনের মান স্থিতিশীল থাকে।
লাইনে এর কার্যকারিতা কেমন?
সফট বেকিংয়ের ফলে ফটোরেজিস্টের প্রোফাইল স্থিতিশীল থাকে। হার্ড বেকিংয়ের ফলে উৎপাদন প্রক্রিয়া পুনরাবৃত্তিযোগ্য হয়। ওয়েফারগুলো শুকনো অবস্থায় বের হয় এবং পুনরায় কাজ করার দরকার হয় না। নিখুঁত তাপ-নিয়ন্ত্রণের ফলে ওয়েফার গরম হতে সময় কম লাগে; অপ্রয়োজনীয় অংশগুলো কমে যায় এবং শক্তি সাশ্রয় হয়। ফলে দ্রুত উৎপাদন সম্ভব হয়, আর CD-এর স্থিতিশীলতা বজায় থাকে। আর হিটার প্রায়ই পরিবর্তন করার দরকার হয় না—কারণ এই কার্বন ন্যানোটিউব সিস্টেমটি তাপ-চক্রগুলোকে সঠিকভাবে সামলায়।
ব্যবহারের আগে কিছু গুরুত্বপূর্ণ বিষয়…
টুলটির ভোল্টেজ ও কানেক্টর ইন্টারফেস মেলানো জরুরি। ওয়েফারের সর্বত্র সমান আলোক-প্রবাহ নিশ্চিত করার জন্য অপটিক্যাল অ্যালাইনমেন্টও গুরুত্বপূর্ণ। চেম্বারটি সীলড অবস্থায় থাকলে হিটারটি সর্বোত্তমভাবে কাজ করে; কারণ বাইরের বাতাস তাপমাত্রায় পরিবর্তন ঘটাতে পারে। আপনার নির্দিষ্ট ফটোরেজিস্ট স্ট্যাকের জন্য র্যাম্প রেট ও সেটপয়েন্ট ঠিক করার জন্য একটি সংক্ষিপ্ত টেস্ট রান করা উচিত।