লিথোগ্রাফি প্রক্রিয়ায়, অর্ধ ডিগ্রি মাত্রের তাপমাত্রা পরিবর্তনও ক্রিটিক্যাল ডাইমেনশন নিয়ন্ত্রণকে ব্যাহত করে। ফটোরেজিস্টে থাকা দ্রবণগুলোর আচরণ অপ্রত্যাশিত হয়ে যায়; ফলে উৎপাদন কার্যক্রম ব্যাহত হয়। আমরা আমাদের ফটোরেজিস্ট প্রি-বেক ইনফ্রারেড হিটারগুলোকে এই ধরনের সমস্যাগুলো দূর করার জন্য ডিজাইন করেছি।
কী গুরুত্বপূর্ণ?
আমরা দ্রুত প্রতিক্রিয়াশীল ও নির্ভুল স্পেকট্রাল নিয়ন্ত্রণযুক্ত শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড ইমিটার ব্যবহার করি; ফলে তাপমাত্রা দ্রুত বৃদ্ধি পায় এবং অতিরিক্ত তাপ উৎপন্ন হয় না। বেকিং প্রক্রিয়ায় ওয়েফারের উপরিভাগে তাপমাত্রার পার্থক্য হয় ±0.1°C মাত্র; এটা উৎপাদন প্রক্রিয়ায় যাচাই করা হয়। ক্লিনরুমের সাথে সামঞ্জস্য রক্ষার জন্য হিটারগুলো ISO ক্লাস 1–100 মানদণ্ড অনুসরণ করে; ফলে কোনো ধরনের কণা উৎপন্ন হয় না এবং ফিল্মটি অক্ষত থাকে। বারবার বেকিং করলেও তাপমাত্রার পার্থক্য থাকে ±0.2°C মাত্র; ফলে হাজার হাজার ওয়েফার উৎপাদন করার সময় প্রক্রিয়াটি স্থিতিশীল থাকে।
ব্যবহারিক দিক থেকে এর গুরুত্ব:
“সফট বেক” ও “হার্ড বেক” উভয় ক্ষেত্রেই সঠিক তাপমাত্রা নিশ্চিত করা খুবই গুরুত্বপূর্ণ। ইনফ্রারেড ইউনিটগুলো সাইকেল সময় কমায়; ফলে অবশিষ্ট দ্রবণগুলো নিয়ন্ত্রিত থাকে। এর ফলে লাইন-ওয়াইডথ সমান থাকে এবং পুনরায় কাজ করার প্রয়োজন কমে যায়। শক্তি ব্যবহারও কমে যায়; কারণ আমরা শুধুমাত্র লক্ষ্যবস্তুটিকেই উত্তপ্ত করি, চেম্বারের দেয়ালগুলোকে নয়। ২৪/৭ কাজ করার জন্য এগুলো নির্ভরযোগ্য; দীর্ঘস্থায়ী ব্যবহারের জন্য MTBF মানদণ্ডগুলো খুবই গুরুত্বপূর্ণ।
ইনস্টলেশন প্রক্রিয়া:
ইনস্টলেশন প্রক্রিয়ায় ইউনিটটিকে প্রক্রিয়া চেম্বারের সাথে সামঞ্জস্য করতে হয়; আর এর জন্য আলাদা পাওয়ার সার্কিট ব্যবহার করতে হয়। হিটারগুলো স্ট্যান্ডার্ড ওয়েফার ক্যারিয়ার ও ইন্টারফেসগুলোর সাথে কাজ করে; কিন্তু প্রতিটি প্ল্যাটফর্মের জন্য তাপীয় সংযোগ যাচাই করা প্রয়োজন। কমিশনিং প্রক্রিয়া খুবই সহজ—র্যাম্প প্রোফাইলগুলো নির্ধারণ করা হয় এবং ইউনিফর্মিটি ম্যাপগুলো যাচাই করা হয়। একবার সেট হয়ে গেলে প্রক্রিয়াটি স্থিতিশীল থাকে।