V prostoru výroby stačí, aby jedna lampa v zařízení RTP přestala fungovat – to nejenže zpomalí činnost stroje, ale také zastaví celou linku. Waferům...

V výrobních prostorách nikdy nejsou termální výkyvy doprovázeny žádnými varovnými značkami. Projevují se v změnách kritických rozměrů, strukturách na...