Sicherstellung der Sicherheit der Heizgeräte in Ihren Reinräumen – und Stabilität des Stromnetzes
In einer Halbleiterfabrik bedeutet ein defektes Heizgerät nicht einfach nur einen „schlechten Tag im Büro“ oder etwas Zeitverlust. Es handelt sich dabei um ein echtes Problem – schließlich besteht die Gefahr von Kontaminationen sowie ernsthaften Sicherheitsrisiken.
Wir entwickeln diese Heizgeräte so, dass die Wafer bei einer präzisen Temperatur gehalten werden können. Doch das eigentliche Problem liegt in der elektrischen Isolierung. Deshalb gehen wir kein Risiko ein: Jedes Heizelement, das unseren Betrieb verlässt, wird gründlich auf seine Spannungsbeständigkeit sowie Isolierfähigkeit getestet. Punkt.
Warum wir unsere Geräte bis an ihre Grenzen belasten
Jedes Gerät wird vor dem Versand intensiv getestet. Dabei werden hohe Spannungen angewandt, um sicherzustellen, dass die Isolierung unter Druck nicht versagt. Wenn es mikroskopisch kleine Risse in der Keramik oder Schwachstellen in den Kabeln gibt, werden diese durch die Tests entdeckt. Wir möchten solche Defekte lieber bereits hier entdecken, anstatt dass sie in Ihrem Reinraum zum Problem werden.
Wenn ein Heizgerät im Einsatz versagt, kommt es in der Regel zu einem Kurzschluss. In einem Reinraum kann das dazu führen, dass das gesamte Stromnetz ausfällt. Noch schlimmer: Dadurch kann elektrischer Störungen in Ihre Lithografieausrüstung eindringen, was die Genauigkeit der Prozesse beeinträchtigt.
Stabilität durch hochwertige Materialien
Um das zu verhindern, verwenden wir hochwertige dielektrische Materialien, damit die Heizelemente vollständig vom Chassis des Fahrzeugs getrennt bleiben. Wir haben festgestellt, dass die Verbindungspunkte oft die Problemequellen sind. Deshalb wählen wir solche Terminals aus, die den ständigen Ausdehnungs- und Zusammenziehungsvorgängen durch Hitze standhalten können. Wenn ein Kabel locker wird, entsteht ein Funkenflug – und das kann zum Totalausfall des Geräts führen.
Der Kompromiss zwischen Präzision und Wartung
Es gibt einen Kompromiss: Da wir die Isolationsanforderungen sehr streng festlegen, sind diese Heizgeräte empfindlich gegenüber äußeren Einflüssen. Wenn die Luftfeuchtigkeit steigt oder aggressive Chemikalien auf die Geräte gelangen, nimmt die Isolierfähigkeit ab. Es ist daher ratsam, die Leckstromwerte im Auge zu behalten.
Um Ihnen zu helfen, liefern wir für jedes verkauftere Gerät detaillierte Testberichte. Man kann sie als eine Art „Geburtsurkunde“ für das Gerät betrachten. Mit diesen Daten können Sie nachverfolgen, wie sich das Gerät im Laufe der Zeit verschlechtert. Sobald die Isolierfähigkeit unter die geforderten Werte fällt, wissen Sie, dass es an der Zeit ist, das Gerät durch ein neues zu ersetzen.