Ihren Reinraum der Klasse 100 tatsächlich sauber halten
Wenn man in einer Umgebung der Klasse 100 arbeitet, kann bereits der geringste Fehler katastrophale Folgen haben. Ein einzelner Farbpunkt oder eine kleine Menge an Gasen können ganze Chargen von Wafern zerstören.
Das Problem ist, dass die meisten Heizelemente nicht für solche Anwendungen geeignet sind. Ihre Gehäuse splittern, ihre Beschichtungen blättern ab, sobald sie eine bestimmte Temperatur erreichen. Das ist ein Albtraum.
Wir gehen anders vor: Wir verwenden hochreinen Quarz für unsere Infrarotlampen – zusammen mit Edelstahlegehäusen, die besonders langlebig sind.
Das Geheimnis liegt im Quarz.
Wir nutzen synthetischen, hochreinen Quarz für unsere Lampen. Warum? Weil er nicht kristallisiert. Das bedeutet, es entstehen keine mikroskopischen Risse – und somit auch keine Partikel, die in den Arbeitsbereich gelangen könnten.
Außerdem nutzen wir Kurzwellen-Infrarotstrahlung. Dadurch wird Energie direkt auf das Werkstück abgegeben, anstatt die Luft um das Werkstück zu erhitzen. Ihr Lüftungssystem wird Ihnen dankbar sein, denn so entsteht keine unnötige Wärmebelastung im Raum.
Und dann gibt es noch das Gehäuse.
Normalerweise ist genau hier die Quelle der Kontamination. Um das zu verhindern, verwenden wir 316L-Edelstahl und geben ihm eine elektropolierte Oberfläche. Dadurch werden alle kleinen Unebenheiten beseitigt, an denen sich Staub ansammeln kann.
Wir hassen außerdem lose Schrauben – sie vibrieren, lockern sich und führen dazu, dass Partikel herunterfallen. Deshalb verwenden wir keine mechanischen Befestigungen. Stattdessen schweißen wir alles mit vollständig durchdringenden Verbindungen zusammen und schleifen alles perfekt glatt. So entsteht ein einziges, glattes Ganzes.
Damit es in Ihrer Werkstatt wirklich funktioniert…
Eines sollte man beachten: Diese Quarzlampen heizen sich sehr schnell auf – quasi sofort. Das ist zwar gut für die Produktivität, doch es belastet die Halterungen stark. Wenn man das Gehäuse zu fest befestigt, kann das zum Verformen des Rahmens oder zum Reißen der Dichtungen führen. Wir verwenden daher schwebende Halterungen. Dadurch hat das Metall Platz, sich auszudehnen, ohne dass etwas beschädigt wird.
Bevor alles unser Werk verlässt, wird es in einem Ultraschallreiniger gereinigt und vakuumverpackt. So wird sichergestellt, dass sämtliche Spuren von Schmieröl oder Poliermitteln entfernt werden.
So geschieht beim Einschalten der Lampe nur das: Sie heizt auf – ohne dass dabei Partikel in die Linsen gelangen.