In der Fertigungshalle hat man keine zweite Chance, wenn die Temperatur um halb ein Grad abweicht. Eine Abweichung von 0,5 °C während des Trocknungsprozesses des Photoresists kann dazu führen, dass wichtige Dimensionen verändert werden – und dadurch viele Wafer unbrauchbar werden. Man benötigt daher eine Wärmequelle, deren Verhalten vorhersehbar, gleichmäßig und zuverlässig ist. Deshalb entwickeln wir eigens angefertigte Quarzheizungen für die Waferherstellung – schließlich darf die thermische Leistung nicht willkürlich gewählt werden.
Was wirklich wichtig ist
Wir verwenden Quarz, weil er eine schnelle, stabile Infrarotreaktion bietet sowie eine Oberfläche, die für einen Reinraum geeignet ist. In der aktiven Zone muss die Temperatur innerhalb von ±0,1 °C konstant bleiben – das ist genau das, was man braucht, um präzise Trocknungsprozesse durchzuführen. Die Leistung kann anhand der Wellenlänge und der Leistungsdichte angepasst werden, damit sie zur Ausstattung der Anlage passt – Kurzwellen für eine schnelle Erwärmung, Mittelwellen für eine stabile Temperaturkontrolle. Abmessungen, Spannungen sowie Anschlussarten werden entsprechend der Ausstattung der Anlage festgelegt – egal ob es sich um eine bereits vorhandene oder neu anzuschaffende Anlage handelt – sodass die Integration einfach möglich ist.
Die Lithografie- und Photoresist-Bearbeitung dulden keine Schwankungen – sie erfordern Re重复性 von Schicht zu Schicht. Diese Heizungen arbeiten 24/7 ohne jegliche Partikelausstoß, sodass die Teilchenzahlen im Reinraum bei den zulässigen Werten bleiben. Dadurch wird eine stabile Kontrolle der wichtigen Dimensionen ermöglicht, weniger Nacharbeiten sind nötig und die Ausschussquoten sinken. Zudem wird der Energieverbrauch durch präzise Wärmeübertragung und minimale Standby-Verluste kontrolliert – dadurch reduzieren sich die Betriebskosten, ohne dass die Durchlaufzeiten beeinträchtigt werden.
Was man beachten muss
Eigens angefertigte Quarzheizungen sind empfindlich gegenüber mechanischen Belastungen sowie dem Kühlluftstrom. Es ist wichtig, die mechanische Ausrichtung genau zu steuern und den Kühlluftstrom stabil zu halten – andernfalls entstehen Hotspots und Temperaturschwankungen. Wir liefern außerdem Kalibrierungsdaten sowie Installationstoleranzen im Voraus. Denken Sie daran: Die thermische Reaktion hängt von der Geometrie der Kammer ab – teilen Sie daher frühzeitig die Abmessungen Ihrer Anlage mit uns. So können wir das Heizprofil perfekt auf die Prozesskammer abstimmen – nicht nur auf die Heizung selbst.