Hören Sie auf, die Maschine zu erhitzen – und heizen Sie stattdessen die Wafern.
Wenn Sie schon einmal mit Siliziumwafern gearbeitet haben, wissen Sie, wie schwierig das ist. Man braucht eine präzise Temperaturkontrolle – doch herkömmliche Infrarotlampen sind unpräzise. Sie strahlen die Energie überallhin ab.
Das Problem ist: Die Energie trifft nicht nur auf die Wafer, sondern auch auf die Innenwände der Anlage. Plötzlich fungiert Ihre teure Kammer wie ein riesiger Heizkörper. Das ist eine Verschwendung von Energie – und außerdem ein Sicherheitsrisiko. Niemand möchte eine Maschine, die bei Berührung gefährlich heiß ist.
Wie wir dieses Problem lösen
Wir lösen dieses Problem, indem wir gezielte Strahlung nutzen. Anstatt einfach nur einen Quarztropf zu verwenden, verwenden wir spezielle Reflektoren und Beschichtungen. Stellen Sie sich das wie eine Taschenlampe vor – statt einer gewöhnlichen Glühbirne. So wird die Infrarotstrahlung direkt auf die Wafer gerichtet. Dadurch bleibt die Energie dort, wo sie hingehört. Die Wafer erhalten die nötige Wärme – während die Außenhülle der Maschine kalt bleibt.
Mit der Intensität umgehen
Hochleistungs-Lampen sind zwar leistungsstark – doch sie belasten die Kühlsysteme stark. Wenn die Luftzufuhr oder das Wasserkreislaufsystem nicht ausreichen, entstehen thermische Probleme. Um das zu vermeiden, muss der PID-Regler so eingestellt werden, dass er auf die tatsächliche Reaktionszeit der Lampe reagiert. So wird verhindert, dass die Temperatur zu hoch wird.
Präzise Einrichtung
Der Austausch dieser Lampen ist eigentlich einfach – doch hier kommt das Entscheidende ins Spiel: Die Ausrichtung ist entscheidend. Selbst kleine Abweichungen von ein paar Millimetern können zu Hotspots führen – was für die Qualität der Produktion katastrophal ist. Wir verwenden Präzisionsschrauben, damit der Fokuspunkt jedes Mal genau im Zentrum der Wafer liegt.
Das Beste daran: Das Problem der „heißen Wände“ verschwindet. Man kann die Prozesse bei hohen Temperaturen durchführen, ohne Angst haben zu müssen, dass die Dichtungen der Kammer beschädigt werden oder Mitarbeiter verletzt werden. Die Maschine läuft kühler, hält länger durch – und alle sind sicherer.