
Wie man die Wafer während des Aushärtungsprozesses sauber hält
Wenn Sie in einem Reinraum der Klasse 100 arbeiten, wissen Sie bereits, wie wichtig Sauberkeit ist – es gibt einfach keinen Raum für Fehler. Schon ein winziger Staubkorn oder etwas Gas, das von den Heizelementen ausgestoßen wird, kann dazu führen, dass die gesamte Charge als unbrauchbar gilt. Das ist ein Albtraum.
Deshalb haben wir auf Standardmaterialien verzichtet und stattdessen hochreinen synthetischen Quarz für unsere Infrarotlampen und Reflektoren verwendet.
Warum Quarz wirklich wichtig ist
Billiges Glas oder minderwertiger Quarz können die hohen Temperaturen nicht aushalten. Unter starken Temperaturschwankungen beginnen diese Verunreinigungen zu zerfallen. Dadurch entstehen lästige flüchtige organische Verbindungen sowie eine „neblige“ Optik der Lampen.
Unser hochreiner Quarz hingegen tut das nicht. Er kann die Temperaturschwankungen problemlos verkraften, ohne zu spröde zu werden oder Partikel abzusondern. Dadurch bleiben die Lampen sauber – und auch Ihre Wafer bleiben sauber.
Die Wärme genau dorthin leiten
Eine Lampe ist im Grunde nutzlos, wenn der Reflektor von schlechter Qualität ist. Wir haben viel Zeit in die Optimierung der Geometrie investiert, damit die Wärme genau dorthin geleitet wird, wo sie benötigt wird – nämlich auf die Oberfläche der Wafer.
Da die Energie konzentriert wird, wird die gewünschte Aushärtungstemperatur viel schneller erreicht. Zudem muss das Klimasystem nicht überlastet werden, um den Raum abzukühlen.
Aber Vorsicht: Die konzentrierte Energie bedeutet, dass der Gehäuse schnell heiß wird. Stellen Sie sicher, dass Ihre Kühlfans in der Lage sind, die Hitze zu bewältigen – sonst riskieren Sie beschädigte Bauteile.
Einbau und Aufrechterhaltung der Sauberkeit
Wir haben darauf geachtet, dass die Abmessungen der Lampen möglichst kompakt sind. Sie sind als Ersatzteile konzipiert, sodass Sie sie ohne größere Umstände in Ihre bestehenden Anlagen einbauen können.
Um eine echte „Null-Emission“ zu gewährleisten, haben wir auf Klebstoffe und billiges Plastik verzichtet. Alles wird entweder verschweißt oder mechanisch befestigt.
Noch ein Tipp: Berühren Sie den Quarz bei der Installation auf keinen Fall mit bloßen Händen. Die Öle in Ihrer Haut können sich auf der Oberfläche ablagern und Hotspots erzeugen, die dazu führen können, dass die Lampe viel früher zerstört wird. Nutzen Sie lieber fingerfreie Handschuhe, damit alles sauber bleibt.