Manteniendo seguros los calentadores de los carros utilizados en las salas limpias (y manteniendo estable la red eléctrica)
En una fábrica de semiconductores, el fallo de un calentador no es simplemente un “día malo en la oficina” o un pequeño problema técnico. Es una verdadera catástrofe. Se trata de riesgos reales de contaminación y de seguridad.
Diseñamos estos calentadores para mantener las obleas a una temperatura precisa. Pero lo realmente importante es el aislamiento eléctrico. Por eso no nos arriesgamos. Cada elemento calefactor que sale de nuestra fábrica pasa por pruebas de resistencia eléctrica del 100%.
¿Por qué llevamos nuestros dispositivos al límite?
Realizamos pruebas de estrés en cada unidad antes de que sea enviada. Las sometemos a altas tensiones para asegurarnos de que el aislamiento eléctrico no se dañe bajo presión.
Lo importante es que, si hay una grieta microscópica en el material cerámico o algún punto débil en los cables, las pruebas lo detectarán. Preferimos encontrar esos defectos aquí, en nuestra fábrica, antes de que causen problemas en su sala limpia.
Cuando un calentador falla en el lugar donde se utiliza, generalmente se produce una falla eléctrica. En una sala limpia, eso puede causar fallos en toda la red eléctrica. Peor aún, puede generar ruidos eléctricos que dañen el equipo de litografía, afectando así su precisión.
Diseñados para la estabilidad
Para evitar esto, utilizamos materiales dieléctricos de alta calidad para mantener los elementos calefactores completamente separados del chasis del carro.
Hemos descubierto que los puntos de conexión son donde suelen ocurrir los problemas. Por eso diseñamos nuestros terminales de manera que puedan soportar las expansiones y contracciones causadas por el calor. Si un cable se afloja, se produce arco eléctrico, lo cual puede causar un fallo total del dispositivo.
La realidad entre precisión y mantenimiento
Existe un equilibrio a mantener. Debido a que mantenemos las tolerancias de aislamiento muy estrictas, estos calentadores son sensibles al entorno. Si la humedad aumenta o si algunos químicos corrosivos llegan al dispositivo, su resistencia eléctrica disminuirá.
Es recomendable vigilar constantemente la corriente de fuga. Para ayudarlo, proporcionamos informes de pruebas para cada unidad que vendemos. Puede utilizar esos datos para controlar cómo se desgasta el calentador con el tiempo. Una vez que la resistencia caiga por debajo de los valores especificados, sabrá que es momento de reemplazarlo por uno nuevo.