در کارخانههای تولید تراشه، فرآیند خشک شدن چسبهای مورد استفاده برای اتصال تراشهها، نقطه تلاقی بین محدودیتهای حرارتی و کیفیت محصولات است. تغییر دما در میزان ۲ درجه سانتیگراد میتواند باعث تغییر استحکام لایههای چسب، جدا شدن آنها و از بین رفتن دستگاههایی شود که قبلاً تمام مراحل لازم را پشت سر گذاشتهاند. لازم است که حرارت دقیقاً در همان نقاطی تأمین شود که فرآیند مورد نظر ایجاب میکند، و این کار باید در هر چرخه انجام شود.
آنچه واقعاً اهمیت دارد
ما پلتفرم خشک کننده را بر اساس کنترل دقیق دما طراحی کردهایم؛ به گونهای که یکنواختی دما در منطقه اتصال تراشهها در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد باشد. هیتر مورد استفاده، نوع مادون قرمز کوتاهامواج است؛ بنابراین فرآیند خشک شدن به سرعت و بدون تماس فیزیکی انجام میشود. سازگاری این پلتفرم با استانداردهای اتاقهای پاک، در سطح ۱ تا ۱۰۰ نیز وجود دارد؛ مواد کمگاز، محفظههای بسته و فیلترهای داخلی، باعث حفظ تعداد ذرات در سطح پایین میشوند. عدم تولید هیچ ذرهای، تنها یک شعار نیست؛ بلکه چیزی است که ما در آزمایشهای انجام شده اندازهگیری میکنیم. این سیستم با استانداردهای بینالمللی تجهیزات نیمههادی سازگار است و عملکرد حرارتی و پروتکلهای ارتباطی آن معادل سیستمهای رایج است.
دلیل موفقیت این روش در عمل
برای اتصال تراشهها، نیاز به خشک شدن سریع و پایدار چسبها وجود دارد؛ بدون اینکه فشاری بر تراشه یا سطح زیرین آن وارد شود. ما الگوهای دقیقی برای خشک شدن چسبهای اپوکسی و پلیایمید تعیین کردهایم؛ سپس سریعاً به حالت استراحت برمیگردیم. زمان لازم برای انجام فرآیند کاهش مییابد، بدون اینکه کیفیت چسبندگی یا کنترل حفرهها تحت تأثیر قرار بگیرد. مصرف انرژی نیز کاهش مییابد؛ زیرا هیتر فقط زمانی فعال میشود که نیاز باشد، و دما نیز به طور دقیق کنترل میشود. همچنین، زمان توقف غیرمنتظره نیز کاهش مییابد؛ زیرا در طراحی این سیستم، مسائل مربوط به زمان کارکرد، قطعات یدکی و نگهداری در نظر گرفته شدهاند. مراحل قبلی فرآیند نیز از این مزایا بهرهمند میشوند؛ چرا که کنترل دقیق دما، باعث میشود فرآیندهای مربوط به خشک شدن چسبها به طور یکنواخت انجام شوند و خطوط و باقیماندههای ناشی از فرآیند در محدوده مشخصی باقی بمانند.
نکات عملی قبل از استفاده از این سیستم
این پلتفرم به راحتی میتواند در فرآیندهای موجود کارخانههای تولید تراشه ادغام شود؛ اما نیاز به تجهیزاتی دارد که با توان هیتر و تفاوت فشار در اتاقهای پاک سازگار باشد. لطفاً قبل از استفاده، ولتاژ و مشخصات سیستم خنککننده را بررسی کنید؛ همچنین، زمان لازم برای تنظیمات اولیه را نیز در نظر بگیرید. پس از تنظیمات اولیه، فرآیند به طور پایدار و قابل پیشبینی ادامه خواهد داشت.