در کارخانههای تولید، وقتی که دمای فر برای پخت وافرها نیم درجه تغییر کند، دیگر فرصت دومی وجود ندارد. تغییر دما به میزان ۰.۵ درجه سانتیگراد میتواند باعث تغییر ابعاد حیاتی وافرها شده و باعث شود که تعداد زیادی از وافرها بیفایده شوند. بنابراین، به گرمایی نیاز داریم که قابل پیشبینی، یکنواخت و بدون نوسانات باشد. به همین دلیل، ما گرمکنهای کوارتزی سفارشی برای تولید وافرها طراحی میکنیم؛ جایی که محدودیتهای حرارتی باید به طور دقیق رعایت شوند.
چه چیزهایی اهمیت دارند؟ ما از کوارتز استفاده میکنیم؛ زیرا این ماده واکنش سریع و پایداری در برابر امواج مادون قرمز ارائه میدهد، همچنین سطح آن مناسب برای استفاده در اتاقهای پاک است. در منطقه فعال، یکنواختی حرارتی در سطح وافرها باید در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد باشد؛ این میزان دقیقاً همان چیزی است که برای دستیابی به شرایط پخت مناسب لازم است. میتوانید خروجی گرمکن را با توجه به طول موج و چگالی توان، تنظیم کنید تا با ویژگیهای دستگاه شما سازگار باشد؛ برای رفتار سریع، از امواج کوتاه و برای کنترل پایدار، از امواج متوسط استفاده میشود. ابعاد، ولتاژ و نوع کانکتورها نیز بر اساس ویژگیهای دستگاه شما تعیین میشوند؛ بنابراین ادغام آنها در سیستم، کار سادهای خواهد بود.
فرآیندهای لیتوگرافی و پردازش فوتورزیست، نوسانات در دما را تحمل نمیکنند؛ بنابراین نیاز به تکرارپذیری در فرآیندها وجود دارد. این گرمکنها ۲۴/۷ کار میکنند و هیچ ذرهای تولید نمیکنند؛ بنابراین تعداد ذرات در اتاقهای پاک در محدوده مجاز باقی میماند. نتیجه این کار، کنترل پایدار ابعاد حیاتی وافرها، کاهش تعداد کارهای تکراری و بازدهی یکنواخت خواهد بود. همچنین، ما مصرف انرژی را نیز کنترل میکنیم؛ بنابراین هزینههای عملیاتی کاهش مییابد، بدون اینکه زمان پردازش کاهش یابد.
نکاتی که باید در نظر بگیرید: گرمکنهای کوارتزی سفارشی، به فشارهای ناشی از نصب و جریان هوای خنککننده حساس هستند. بنابراین، باید محل نصب گرمکن دقیقاً تنظیم شود و جریان هوای خنککننده نیز پایدار باشد؛ در غیر این صورت، نقاط گرم ایجاد خواهد شد. ما نقشههای کالیبراسیون و محدودیتهای نصب را از همان ابتدا در اختیار شما قرار میدهیم. همچنین، به یاد داشته باشید که واکنش حرارتی به شکل محفظه بستگی دارد؛ بنابراین، اطلاعات مربوط به ابعاد دستگاه را از همان ابتدا در اختیار ما قرار دهید. به این ترتیب، ما میتوانیم پروفایل گرمکن را با محفظه فرآیند سازگار کنیم، نه فقط خود گرمکن.