در فرآیند لیتوگرافی، حتی تغییرات جزئی در دمای پخت، میتواند باعث اختلال در کنترل ابعاد مهم شود. همچنین، باقیماندن مواد حلکننده در فوتورزیست نیز غیرقابل پیشبینی میشود و بهرهوری تولید کاهش مییابد. ما برای جلوگیری از این مشکلات، از گرمکنهای مادونقرمز برای پیشپخت فوتورزیست استفاده کردهایم.
آنچه اهمیت دارد: ما از فرستندههای مادونقرمز با پاسخگویی سریع و کنترل دقیق طیفی استفاده میکنیم؛ به این ترتیب، افزایش دما به سرعت اتفاق میافتد بدون اینکه از حد مجاز خارج شود. در نتیجه، یکنواختی دما در سطح ویفرها در حد ±۰.۱ درجه سانتیگراد خواهد بود؛ این موضوع در شرایط تولیدی نیز بررسی و تأیید شده است. سازگاری این گرمکنها با محیطهای تمیز نیز یک ویژگی مهم است؛ این گرمکنها مطابق استانداردهای ISO کلاس ۱ تا ۱۰۰ هستند، و تولید هیچ ذرهای نیز رخ نمیدهد؛ بنابراین، یکپارچگی فیلم حفظ میشود. تکرارپذیری این فرآیند نیز در حد ±۰.۲ درجه سانتیگراد است؛ این موضوع باعث استабیل بودن فرآیند تولید در هزاران ویفر میشود.
دلیل اهمیت این موضوع این است که هدف اصلی، تأمین دمای مناسب برای پخت ویفرها است. گرمکنهای مادونقرمز باعث کاهش زمان فرآیند میشوند و در عین حال، مواد حلکننده باقیمانده را تثبیت میکنند؛ این امر به بهبود یکنواختی عرض خطوط کمک میکند و نیاز به تولید مجدد را کاهش میدهد. مصرف انرژی نیز کاهش مییابد، زیرا گرمایش فقط روی ویفرها انجام میشود، نه دیوارههای محفظه. قابلیت اطمینان این گرمکنها نیز بالاست؛ طول عمر آنها نیز مشخص شده است، که به تولید پیوسته و کمتر شدن مشکلات کمک میکند.
نصب این گرمکنها به معنای هماهنگ کردن آنها با محفظه فرآیند و استفاده از مدارهای برقی مناسب است. این گرمکنها با حاملها و رابطهای استاندارد ویفرها سازگار هستند، اما همچنان لازم است که اتصال حرارتی آنها برای هر پلتفرمی بررسی شود. فرآیند راهاندازی نیز سریع است؛ پروفایلهای دمایی تعیین شده و یکنواختی دما نیز بررسی میشود. پس از تنظیم، فرآیند تولید به طور پایدار ادامه خواهد داشت.