در خط تولید، دمای پخت نرم و سخت، نه تنها بر فرآیند پخت تأثیر میگذارد، بلکه بر ضخامت لبههای سطحی نیز تأثیر دارد. حتی اختلاف ۰.۵ درجه سانتیگرادی در دما، میتواند باعث تغییراتی در کیفیت محصول شود. اگر همچنین تولید ذرات در طول چرخههای کارکرد لامپ رخ دهد، کیفیت محصول کاهش خواهد یافت.
آنچه که نیاز است، حرارتی است که قابل پیشبینی باشد، تمیز باشد و مستقیماً به ابزارهای مورد استفاده وارد شود؛ بدون نیاز به بازبینی کل خط تولید.
ما لامپهای نیمههادی را تولید میکنیم که با ویژگیهای حرارتی و الکتریکی تجهیزات بینالمللی سازگار باشند؛ بنابراین میتوانید جایگزینی مناسب و قابل اعتماد داشته باشید. پروفیلهای مربوط به موجهای کوتاه و متوسط، برای حفظ یکنواختی حرارتی در سطح ویفر، تنظیم شدهاند؛ به طوری که دما در طول مراحل حساس پخت، در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد باقی بماند.
عناصر کوارتز و هالوژن، باعث ایجاد خروجی پایدار و سریع میشوند؛ بنابراین میتوانید کنترل بهتری بر دما داشته باشید و از آسیب رسیدن به لایههای حساس محافظت کنید. سازگاری این لامپها با شرایط اتاقهای پاک، از کلاس ۱ تا ۱۰۰، فراهم شده است؛ همچنین تولید ذرات صفر است، زیرا نظارت لحظهای بر فرآیند روشن شدن و سرد شدن لامپ انجام میشود. درایور این لامپها برای کار ۲۴/۷ طراحی شده است؛ عمر آنها بیش از ۵٬۰۰۰ ساعت است و کاهش خروجی آنها کمتر از ۵٪ خواهد بود.
در فرآیندهای لیتوگرافی و پردازش فوتورزیست، دقت دما، تأثیر زیادی بر کیفیت محصول و زمان پردازش دارد. این لامپها، منحنی پخت را استابیل میکنند، تکرارپذیری فرآیند را افزایش میدهند و از نوسانات ناشی از پیری لامپ یا تغییرات حرارتی جلوگیری میکنند.
شما میتوانید از همان روشهای فرآوری و ابزارهای مورد استفاده قبلی خود استفاده کنید؛ همچنین میتوانید با استفاده از این لامپها، مصرف انرژی را کاهش دهید. قابلیت اطمینان این لامپها، به معنای کاهش توقفهای ناگهانی و نیاز به تعمیرات است.
نصب این لامپها با سوکتها و درایورهای استاندارد سازگار است؛ اما باید ولتاژ، نوع کانکتور و فاصلههای مکانیکی را مطابق با نسخه ابزار خود بررسی کنید. برخی از ابزارهای قدیمی، نیاز به تنظیمات فریمور دارند؛ ما روش تنظیم این ابزارها را فراهم میکنیم.
کارکرد لامپ در ولتاژ کمتر از حد مشخص شده، میتواند عمر لامپ را افزایش دهد؛ اما میتواند زمان پخت را نیز طولانیتر کند. لازم است منحنی پخت لامپ، مطابق با مشخصات فوتورزیست باشد.