در خطوط تولیدی که ۲۴ ساعته فعال هستند، مشکلات ناشی از تغییرات دمایی، صرفاً یک مسئله تئوریک نیستند؛ بلکه باعث کاهش کیفیت محصولات میشوند. حتی یک اختلاف جزئی در دما نیز میتواند منجر به نیاز به تعمیرات مجدد شود. ما لامپ گرمایشی نیمههادی را طوری طراحی کردهایم که این نوسانات را از بین ببرد.
چه چیزی اهمیت دارد؟ این لامپ از یک فرستنده مادون قرمز با طول موج کوتاه استفاده میکند؛ بنابراین پاسخگویی آن در کمتر از یک ثانیه اتفاق میافتد و کنترل خودکار نیز دقیق باقی میماند. در سراسر ناحیه گرمایشی، یکنواختی دما در حد ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ میشود؛ یعنی هر ویفر همان میزان گرما را دریافت میکند. کنترل سطح روشنایی نیز خطی و قابل تکرار است؛ بنابراین میتوانید فرآیندهای مختلفی را بدون نیاز به تعمیرات مجدد انجام دهید. این لامپ برای استفاده در اتاقهای پاکسازی با سطح پاکیزگی کلاس ۱ تا ۱۰۰ مناسب است؛ همچنین خود لامپ هیچ ذرهای را در محیط پخش نمیکند. انتظار میرود که این لامپ بتواند بیش از ۵٬۰۰۰ ساعت در شرایط کاری کامل کار کند، بدون اینکه کیفیت خروجی آن کاهش یابد؛ همچنین هیچ خرابی غیرمنتظرهای در حین کار مداوم رخ نخواهد داد.
چرا این لامپ در فرآیندهای واقعی مؤثر است؟ در فرآیندهای لیتوگرافی، مراحل گرمایش ملایم و شدید، الگویی را تعیین میکنند که سایر مراحل بر اساس آن انجام میشوند. با استفاده از این لامپ، میتوانید دمای فوتورزیست را در محدوده مورد نیاز نگه دارید؛ همچنین میتوانید از تجمع مجدد مواد در نواحی مختلف جلوگیری کنید. همین کنترل، در فرآیندهای تمیزکردن و خشک کردن ویفرها نیز مفید است؛ زیرا کنترل دقیق دما، تفاوت بین ویفرهای کاملاً تمیز و ویفرهایی که تا حدی تمیز هستند، را ایجاد میکند. مصرف انرژی نیز کاهش مییابد؛ زیرا لامپ فقط هدف مورد نظر را گرم میکند، نه قسمتهای اطراف آن. عمر طولانی این لامپ، منجر به کاهش تعمیرات و اختلالات در فرآیندهای تولید میشود؛ همچنین کنترل دقیق دما، باعث یکنواختی در تولید ویفرها میشود.
چه چیزهایی باید در نظر گرفت؟ برای استفاده بهینه از این لامپ، باید به رابط نصب آن و تنظیمات کنترلکننده PID توجه کرد. برای داشتن یکنواختی بهتر، لامپ باید در راستای سطح ویفر قرار گیرد و در محدوده مشخص شده برای کنترل سطح روشنایی باقی بماند؛ در غیر این صورت، پایداری دما کاهش خواهد یافت. همچنین باید نحوه نصب لامپ را طوری برنامهریزی کنید که بتوانید به راحتی از آن مراقبت کنید، بدون اینکه مسیر نوری یا جریان هوا در اتاق پاکسازی مختل شود.