Éliminer l’ozone lors du traitement des semi-conducteurs
Lors de la fabrication de semi-conducteurs, la « propreté » n’est pas simplement une préférence : c’est essentiel. Il est nécessaire que les processus de séchage et de traitement ne laissent absolument rien derrière eux : aucun résidu, aucune substance chimique, rien du tout.
Le problème, c’est que de nombreuses méthodes de chauffage traditionnelles ne respectent pas les normes écologiques actuelles, qui interdisent l’utilisation de substances dangereuses. C’est là que nos lampes infrarouges sans ozone entrent en jeu.
Les problèmes liés aux lampes infrarouges « standard »
Les lampes infrarouges à ondes courtes émettent des rayonnements dans la plage de 185 nm à 250 nm. Lorsque ces rayonnements rencontrent l’oxygène présent dans l’air, ils provoquent la formation d’ozone.
Dans une salle propre, l’ozone représente un vrai problème : c’est un polluant qui endommage les composants sensibles et rend l’air insupportable – voire dangereux – pour les personnes qui y travaillent.
Nous avons résolu ce problème en utilisant un enveloppement en quartz spécialement conçu, doté d’un filtre sélectif. On peut le considérer comme un bouclier : il bloque le spectre VUV (celui qui provoque la formation d’ozone), mais permet au rayonnement thermique de passer à travers. Ainsi, vous obtenez toute la chaleur nécessaire, sans aucun résidu chimique.
Intégration dans votre installation
Ces lampes produisent beaucoup de chaleur en très peu d’espace. Comme l’énergie se déplace par rayonnement plutôt que par convection, vous ne perdez pas de temps à chauffer toute la chambre. La chaleur atteint directement le substrat. C’est un avantage considérable pour votre facture d’énergie.
Mais attention : veillez à contrôler la densité de puissance. Si vous utilisez des lampes à haute puissance pour accélérer le processus de traitement, la température peut devenir extrêmement élevée. Assurez-vous que vos ventilateurs et dissipateurs de chaleur peuvent gérer cette charge. Sinon, vous risquez de rencontrer des problèmes avec le quartz ou les connecteurs, et personne ne veut avoir affaire à ça un mardi matin.
Utilisation pratique
On voit de plus en plus de gens remplacer leurs anciens fours de type convection par ces lampes, afin de traiter des masques de soudure ou des photosensibilisants.
C’est un remplacement simple : vous n’avez pas besoin d’installer de systèmes de ventilation coûteux pour éliminer l’ozone de l’air. Il suffit de brancher les lampes, de définir le temps nécessaire pour atteindre la température souhaitée… et le substrat atteindra rapidement la température idéale.
C’est plus propre, plus rapide, et cela correspond parfaitement aux normes écologiques mondiales, sans compliquer la vie des gens.