
फैब फ्लोर पर, “सॉफ्ट बेक” एवं “हार्ड बेक” प्रक्रियाओं में तापमान का सही स्तर ही उत्पादन की गुणवत्ता को निर्धारित करता है। 0.5°C का भी अंतर उत्पादन प्रक्रिया पर प्रभाव डालता है। लैंपों के चक्रों के दौरान कणों का उत्पन्न होना भी उत्पादन प्रक्रिया पर नकारात्मक प्रभाव डालता है।
आपको ऐसी ऊष्मा आवश्यक है जो नियमित रूप से उपलब्ध हो, शुद्ध हो, एवं सीधे ही उन उपकरणों में उपयोग में आ सके… बिना पूरी प्रक्रिया को पुनः जाँचने की आवश्यकता के।
हम ऐसे सेमीकंडक्टर लैंप उपलब्ध कराते हैं, जो अंतरराष्ट्रीय उपकरणों के थर्मल एवं विद्युत मापदंडों के अनुरूप होते हैं… इससे आपको एक उच्च गुणवत्ता वाला विकल्प मिलता है। शॉर्ट-वेव एवं मीडियम-वेव लैंप, वेफरों पर थर्मल समानता बनाए रखने में मदद करते हैं… जिससे कि क्रिटिकल बेक प्रक्रियाओं के दौरान तापमान ±0.1°C के भीतर ही रहता है।
क्वार्ट्ज एवं हैलोजन तत्व, तेज़ गति से ऊष्मा प्रदान करते हैं… जिससे थर्मल बजट नियंत्रित रहता है… एवं नाजुक फिल्मों की सुरक्षा भी होती है। क्लीनरूम क्लास 1–100 के मानकों का भी पालन किया जाता है… एवं लैंपों के शुरू होने एवं ठंडा होने की प्रक्रिया के दौरान कणों का उत्पन्न होना भी रोका जाता है। ड्राइवर 24/7 कार्य करने हेतु डिज़ाइन किया गया है… एवं इसकी आयु 5,000+ घंटों तक है… एवं आउटपुट में 5% से भी कम की कमी होती है।
लिथोग्राफी एवं फोटोरेसिस्ट प्रक्रियाओं में, तापमान की सटीकता ही उत्पादन की गुणवत्ता एवं प्रक्रिया समय को निर्धारित करती है। ये लैंप, बेक प्रक्रिया को स्थिर रखते हैं… एवं लैंपों के उम्र बढ़ने या थर्मल विचलनों के कारण होने वाली समस्याओं को कम करते हैं।
आप उसी प्रक्रिया का उपयोग कर सकते हैं… एवं कुशल एवं तेज़ ऊष्मा प्रदान करने के कारण ऊर्जा की खपत भी कम होती है। विश्वसनीयता के कारण, आपको कम ही रुकावटें आती हैं… एवं रखरखाव की आवश्यकता भी कम होती है।
इन लैंपों को मानक लैंप सॉकेटों एवं ड्राइवरों के साथ ही इंस्टॉल किया जा सकता है… लेकिन वोल्टेज, कनेक्टर प्रकार एवं यांत्रिक दूरी की जाँच अवश्य करें। कुछ पुराने उपकरणों के लिए फर्मवेयर कैलिब्रेशन आवश्यक है… हम ऐसी प्रक्रियाएँ भी प्रदान करते हैं।
निर्धारित वोल्टेज से कम वोल्टेज पर लैंप चलाने से लैंप की आयु बढ़ सकती है… लेकिन बेक प्रक्रिया में समय भी बढ़ सकता है। लैंप की वक्र रेखा को फोटोरेसिस्ट के मानदंडों के अनुरूप ही रखें।