24/7 चलने वाली उत्पादन लाइनों में, थर्मल ड्रिफ्ट कोई सैद्धांतिक समस्या नहीं है; बल्कि यह ऐसी समस्या है जिसका प्रभाव तो मानचित्र पर दिखने से पहले ही महसूस हो जाता है। थोड़ी सी तापमान-वृद्धि भी पुनर्कार्य की आवश्यकता पैदा कर देती है। हमने ऐसे डिम्मेबल सेमीकंडक्टर हीटर लैंप विकसित किए हैं, ताकि ऐसी अस्थिरताओं को दूर किया जा सके।
वास्तविक प्रक्रियाओं में इसकी उपयोगिता
लिथोग्राफी में, “सॉफ्ट बेक” एवं “हार्ड बेक” प्रक्रियाएँ ही सब कुछ नियंत्रित करती हैं। इस लैंप की मदद से, फोटोरेजिस्ट का तापमान उचित स्तर पर रहता है, जिससे पुनर्कार्य की आवश्यकता ही नहीं पड़ती। यही नियंत्रण प्रणाली वेफरों की सफाई एवं सुखाने की प्रक्रियाओं में भी उपयोगी है। लैंप, लक्षित क्षेत्र को ही गर्म करता है; इसलिए ऊर्जा-खपत कम होती है। लंबे समय तक उपयोग करने पर भी इसकी कार्यक्षमता में कोई कमी नहीं आती।
क्या ध्यान रखना आवश्यक है?
लैंप को उचित तरीके से लगाने हेतु, माउंटिंग इंटरफेस एवं कंट्रोलर के PID ट्यूनिंग पर ध्यान देना आवश्यक है। सर्वोत्तम समानता हेतु, लैंप को वेफर की सतह के साथ संरेखित करना आवश्यक है। निर्धारित सीमाओं से बाहर जाने पर तापमान-स्थिरता प्रभावित हो जाती है। इंस्टॉलेशन को ऐसे ही करना चाहिए कि ऑप्टिकल पथ या क्लीनरूम की हवा-प्रवाह में कोई बाधा न आए।