लिथोग्राफी प्रक्रिया में, अगर तापमान में आधा डिग्री का भी बदलाव हो जाए, तो उत्पादन प्रक्रिया पर गंभीर प्रभाव पड़ता है। फोटोरेजिस्ट में मौजूद विलायकों की मात्रा अप्रत्याशित हो जाती है, जिससे उत्पादन दक्षता में कमी आ जाती है। हमने ऐसे इन्फ्रारेड हीटर डिज़ाइन किए हैं, जिससे ऐसी समस्याओं से बचा जा सके।
महत्वपूर्ण बातें:
हम ऐसे शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड एमिटरों का उपयोग करते हैं, जिनकी प्रतिक्रिया गति तेज़ है, एवं जिनका स्पेक्ट्रल नियंत्रण भी उत्कृष्ट है। इससे तापमान में तेज़ी से वृद्धि होती है, लेकिन तापमान नियंत्रण में रहता है। इससे वेफरों पर तापमान समान रहता है – ±0.1°C के भीतर। यह तापमान स्तर उत्पादन प्रक्रिया में भी समान रहता है। क्लीनरूम के मानकों के अनुरूप, ये हीटर ISO क्लास 1–100 के मानकों को पूरा करते हैं; इनसे कोई कण उत्पन्न नहीं होता, एवं फिल्म की अखंडता भी बनी रहती है। प्रत्येक बार बेकिंग के बाद तापमान समान ही रहता है – ±0.2°C के भीतर। इससे हजारों वेफरों के उत्पादन में भी प्रक्रिया स्थिर रहती है।
व्यावहारिक महत्व:
“सॉफ्ट बेक” एवं “हार्ड बेक” दोनों ही प्रक्रियाओं में सही तापमान आवश्यक है। इन्फ्रारेड हीटरों के उपयोग से प्रक्रिया में लगने वाला समय कम हो जाता है, एवं अवशिष्ट विलायकों का नियंत्रण भी बेहतर हो जाता है। इससे उत्पादन दक्षता में सुधार होता है, एवं पुनर्कार्य की आवश्यकता भी कम हो जाती है। ऊर्जा की खपत भी कम हो जाती है, क्योंकि हीटर केवल लक्षित वस्तुओं को ही गर्म करता है, न कि कक्ष की दीवारों को। इन हीटरों की विश्वसनीयता 24/7 उपयोग के लिए उपयुक्त है; इनकी MTBF दर भी अच्छी है, जिससे लंबे समय तक उपयोग किया जा सकता है।
स्थापना प्रक्रिया:
हीटर को प्रक्रिया कक्ष में सही जगह पर लगाना होता है, एवं इसके लिए एक विशेष विद्युत सर्किट की आवश्यकता होती है। ये हीटर मानक वेफर कैरियरों एवं इंटरफेसों के साथ काम करते हैं; लेकिन प्रत्येक प्लेटफॉर्म के लिए तापीय संयोजन की जाँच आवश्यक है। स्थापना प्रक्रिया जल्दी ही पूरी हो जाती है – तापमान संबंधी आँकड़े तैयार हो जाते हैं, एवं तापमान समानता भी सुनिश्चित हो जाती है। एक बार सेट हो जाने के बाद, प्रक्रिया स्थिर ही रहती है।