फैब्रिकेशन प्रक्रिया में, यदि तापमान में आधा डिग्री का भी बदलाव हो जाए, तो दूसरा मौका नहीं मिलता। फोटोरेसिस्ट को गर्म करते समय 0.5°C का भी बदलाव, वेफरों के महत्वपूर्ण आयामों को प्रभावित कर सकता है; इससे कई वेफर बेकार हो जाते हैं। ऐसे में ऐसी हीटिंग सिस्टम की आवश्यकता है, जो पूर्वानुमेय, समान एवं स्वच्छ हो। इसीलिए हम वेफर निर्माण हेतु विशेष क्वार्ट्ज हीटर बनाते हैं… क्योंकि यहाँ तापीय स्थिरता बहुत ही महत्वपूर्ण है।
क्या महत्वपूर्ण है?
हम क्वार्ट्ज का उपयोग इसलिए करते हैं, क्योंकि यह तेज एवं स्थिर इन्फ्रारेड प्रतिक्रिया देता है, एवं इसकी सतह भी स्वच्छ रहती है। वेफरों पर तापमान की समानता ±0.1°C के भीतर होनी आवश्यक है… यही वह स्तर है जिस पर हमें आवश्यक गर्मी-स्तर प्राप्त होता है। आप तरंगदैर्घ्य एवं ऊर्जा-घनत्व को अपने उपकरणों के अनुरूप समायोजित कर सकते हैं… छोटी तरंगदैर्घ्य से तेज गर्मी प्राप्त होती है, जबकि मध्यम तरंगदैर्घ्य से स्थिर गर्मी प्राप्त होती है। आयाम, वोल्टेज एवं कनेक्टरों का प्रकार भी आपके उपकरणों के अनुरूप ही होता है… इससे एकीकरण आसान हो जाता है।
लिथोग्राफी एवं फोटोरेसिस्ट प्रक्रियाओं में तापमान में कोई भी उतार-चढ़ाव स्वीकार्य नहीं है… ऐसी प्रक्रियाओं में निरंतरता आवश्यक है। ये हीटर 24/7 काम करते हैं, एवं इनसे कोई कण उत्पन्न नहीं होता… इससे क्लास 1–100 स्तर के स्वच्छ वातावरण में कणों की संख्या नियंत्रित रहती है। इससे महत्वपूर्ण आयामों पर नियंत्रण बना रहता है, पुनर्कार्य कम हो जाता है, एवं उत्पादन दर भी स्थिर रहती है। हम ऊर्जा-उपयोग को भी नियंत्रित रखते हैं… इससे संचालन लागत कम हो जाती है, बिना चक्र-समय में कोई कमी आए।
ध्यान देने योग्य बातें:
कस्टम क्वार्ट्ज हीटर, मेकेनिकल तनाव एवं शीतलन-हवा के प्रवाह के प्रति संवेदनशील होते हैं… इसलिए मेकेनिकल संरेखण को सटीक रखना आवश्यक है, एवं शीतलन-हवा का प्रवाह भी स्थिर रखना आवश्यक है… अन्यथा गर्म स्थान बन जाते हैं, एवं तापमान में बदलाव हो जाता है। हम पहले ही कैलिब्रेशन मानचित्र एवं इंस्टॉलेशन-संबंधी जानकारी उपलब्ध कराते हैं… और याद रखें, तापीय प्रतिक्रिया चेंबर की ज्यामिति पर निर्भर है… इसलिए अपने उपकरणों के आकार की जानकारी पहले ही दें… इससे हीटर को प्रक्रिया-चेंबर के अनुरूप ही डिज़ाइन किया जा सकता है।