半製品処理用ランプにおける熱対策
ファブ内での赤外線放射について言えば、それを適切に制御しなければ大変な問題が生じます。赤外線は単に電力を消費するだけでなく、高価な機器の内壁をまるでオーブンのようにしてしまいます。
ケースがあまりにも熱くなると、本当に深刻な問題が起きます。機械に触れる人々にとっては安全上のリスクがあり、また、内部の精密部品が歪んでしまう可能性もあります。これを防ぐために、私たちは石英ガラス製のシールドを使用して、熱を正しい方向に向けます。
方向性加熱のコツ
通常の赤外線ランプは、360度全方位にエネルギーを放出します。シールドがなければ、ウェーハではなく機器の筐体を加熱してしまい、結果的にエネルギーの半分が無駄になってしまいます。
そこで、高純度の石英を使用します。短波長の赤外線は透過しますが、他の光は遮断されます。これにより、不要な光子がターゲットに戻され、結果として機器の内壁は触っても冷たく保たれます。
なぜ材料が重要か
ここでは、普通のガラスは使えません。普通のガラスでは、ランプがフルパワーで動作するとすぐに割れてしまいます。
私たちは耐久性の高い融解石英を使用します。この素材は激しい温度変化にも耐えられ、割れることはありません。ただし、シールドの取り付けには注意が必要です。シールドが筐体に厳しく固定されすぎると、膨張時に応力がかかります。逆に緩すぎると、赤外線が漏れてしまいます。適切なバランスを見つけることが重要です。
トレードオフ
ただし、注意点もあります。機器の内壁を保護するためにシールドを設置すると、ランプの周辺に熱が閉じ込められてしまいます。うっかりすると、ランプが壊れてしまう可能性があります。冷却ファンや水冷装置が十分に強力であることを確認してください。
また、数ヶ月ごとにシールの状態をチェックすることも重要です。ファブ内の汚染物質が時間とともに石英を曇らせてしまいます。そうなると、加熱効率が低下します。常に清潔に保てば、正常に機能し続けます。