硬化処理中にウェーハを常に清潔に保つために
もし、クラス100のクリーンルームを利用しているのであれば、間違いの余地は一切ないことはご存知でしょう。ほんのわずかなほこりや、加熱要素から発生するガスですら、全体の製品を無駄にしてしまいます。本当に悪夢的です。
だからこそ、私たちは普通の材料を使うのをやめ、赤外線ランプや反射板に高純度の合成石英を使用するようにしました。
なぜ石英が重要なのか
安価なガラスや低品質の石英は、高温に耐えられません。強烈な温度変化があると、その不純物が分解されてしまいます。その結果、厄介な揮発性有機化合物や、ランプ表面に「霧状のもの」が付着してしまいます。
一方、高純度の石英はそういう問題がありません。急激な温度変化にも耐えられ、割れたり粒子が飛び散ったりすることはありません。つまり、ランプやウェーハが常に清潔な状態を維持できるのです。
熱を適切な場所に送る
もし反射板が悪質なものだと、ランプはほとんど役に立ちません。私たちは、熱が正確にウェーハの表面に届くように、幾何学的な設計に多くの時間を費やしました。
エネルギーが集中するため、硬化処理に必要な温度に到達するのがずっと早くなります。また、空調システムも部屋を冷却するために過度な負担をかける必要がありません。
ただし、注意が必要です。エネルギーが集中するため、ランプのケースがすぐに熱くなります。必ず冷却ファンが正常に機能しているか確認しましょう。さもないと、ソケットが溶けたり、配線が壊れたりする可能性があります。
取り付けと清掃の仕方
私たちは、装置のサイズを小さくしています。これらは直接交換可能な設計になっているので、ラック全体の配線を取り外す必要なく、既存の装置に簡単に取り付けられます。
真に「ゼロ汚染」を実現するために、接着剤や安価なプラスチックは一切使用していません。接着剤も使わず、すべてはろう付けまたは機械的に固定されています。
最後に、これらを交換する際には、絶対に素手で触らないでください。皮膚の油分が表面に付着し、ランプが早期に壊れてしまう原因になります。必ず使い捨ての手袋を着用して、ランプを傷つけないようにしましょう。