클래스 100 청정실을 실제로 깨끗하게 유지하는 방법
클래스 100 환경에서 작업할 때는 아주 작은 실수라도 치명적인 결과를 초래할 수 있습니다. 단 하나의 페인트 조각이나 미세한 가스도 전체 웨이퍼를 망칠 수 있습니다.
문제는 대부분의 가열 요소들이 이러한 환경에 적합하게 설계되어 있지 않다는 것입니다. 그러한 가열 요소들의 외장은 쉽게 손상되고, 열에 의해 코팅도 벗겨집니다. 정말 악몽 같은 상황입니다.
우리는 이 문제를 다르게 해결합니다. 고순도 석영 IR 램프와 내구성이 뛰어난 스테인리스 스틸 외장을 함께 사용합니다.
비결은 바로 석영에 있습니다.
우리는 램프에 합성 고순도 석영을 사용합니다. 왜일까요? 석영은 결정화되지 않기 때문입니다. 그렇다면 미세한 균열도 생기지 않으며, 그로 인해 먼지가 작업 공간으로 들어갈 가능성도 없습니다.
또한, 단파 적외선을 사용하여 에너지를 직접 작업물에 전달합니다. 그래서 주변의 공기가 따뜻해지는 일도 없습니다. HVAC 시스템도 불필요한 열 부하를 받지 않아서 좋습니다.
그리고 외장도 중요합니다.
보통 오염이 시작되는 곳이 바로 외장입니다. 이를 막기 위해 316L 스테인리스 스틸을 사용하고 전기적으로 연마하여 표면을 매끄럽게 만듭니다. 그렇게 하면 먼지가 숨을 수 있는 미세한 틈도 사라집니다.
또한, 우리는 조임나사를 사용하지 않습니다. 조임나사는 진동을 일으켜 부품이 풀리거나 먼지가 나올 수 있기 때문입니다. 그래서 우리는 TIG 용접을 사용하여 모든 부품을 단단히 연결합니다. 그렇게 하면 하나의 완전한 구조가 됩니다.
실제로 작업실에서도 잘 작동하도록 하는 방법
한 가지 기억해야 할 점은, 이 석영 램프들이 매우 빠르게 가열된다는 것입니다. 정말 순식간에 가열됩니다.
이는 생산 속도 측면에서는 좋지만, 장착 부분에 큰 부담을 줍니다. 외장을 너무 단단히 고정하면 프레임이 비틀리거나 밀폐 장치가 깨질 수 있습니다. 그래서 우리는 부동형 브래킷을 사용합니다. 그렇게 하면 금속이 움직일 수 있고, 아무것도 파손되지 않습니다.
이 모든 것이 공장을 떠나기 전에, 우리는 초음파 세척기를 사용하여 깨끗하게 청소한 후 진공 포장합니다. 마찰로 인해 생긴 기름이나 연마제의 흔적도 완전히 제거됩니다.
그렇게 하면 스위치를 켜면 오직 가열만 일어나고, 렌즈에 먼지가 묻는 일은 없습니다.