Op de productieafdeling heb je geen tweede kans als de temperatuur ook maar een halve graad verschuift tijdens het verhitten van de wafer. Een verschil van 0,5°C kan ertoe leiden dat belangrijke afmetingen veranderen en dat veel wafer’s als afval moeten worden beschouwd. Je hebt dus een verwarmingssysteem nodig dat betrouwbaar, gelijkmatig en nauwkeurig werkt. Daarom bouwen we speciale kwartsverwarmers voor de productie van wafer’s, waarbij de thermische specificaties zeer belangrijk zijn.
Wat belangrijk is
We gebruiken kwarts omdat het een snelle en stabiele infraroodrespons geeft, en omdat het een oppervlak heeft dat geschikt is voor een schone ruimte. In de actieve zone moet de temperatuur overal binnen ±0,1°C blijven – dit is precies wat nodig is om nauwkeurige verhittingsprocessen te kunnen uitvoeren. Je kunt de uitstoot aan warmte aanpassen door de golflengte en vermogensdichtheid te regelen, zodat deze past bij je apparaat. Kortegolven worden gebruikt voor een snelle verhoging van de temperatuur, terwijl middelgolven worden gebruikt voor een stabiele temperatuur. De afmetingen, spanning en type connectoren worden aangepast aan je apparatuur, zodat de integratie eenvoudig blijft.
Lithografie en het verwerken van fotoresist vereisen nauwkeurigheid – er mogen geen pieken of dalen in de temperatuur zijn. Deze verwarmers werken 24/7 zonder dat er stof wordt geproduceerd. Hierdoor blijft het aantal deeltjes in de schone ruimte op een acceptabel niveau. Het voordeel is dat de afmetingen van de wafer’s beter onder controle kunnen worden gehouden, er minder herwerkzaamheden nodig zijn en de opbrengst consistent blijft. We houden ook de energieverbruik onder controle door middel van precisie in de thermische koppeling en minimale standbyverliezen. Hierdoor dalen de operationele kosten, zonder dat de tijd die nodig is voor het productieproces toeneemt.
Het is belangrijk om rekening te houden met de spanningen die op de verwarmer worden uitgeoefend en met de koelingsstromen. Zorg ervoor dat de mechanische alignering perfect is en dat de koelingsstromen constant blijven. Anders kunnen er hete punten ontstaan. We leveren kalibratiemappen en installatie toleranties mee. Vergeet niet dat de thermische respons afhankelijk is van de geometrie van de kamer. Del dit dus van tevoren met ons, zodat we de verwarmer kunnen aanpassen aan de behoeften van de productiekamer.