Stop met het opwarmen van uw apparaat en begin met het opwarmen van uw wafers
Als u ooit met siliciumwafers hebt gewerkt, kent u de uitdagingen. U heeft nauwkeurige warmte nodig, maar standaard IR-lampen zijn rommelig. Ze stralen overal warmte af.
Het probleem is dat die energie niet alleen de wafer raakt. Ze raakt ook de binnenmuren van uw apparatuur. Plotseling werkt uw dure kamertje als een enorme radiator. Dit is energieverspilling en eerlijk gezegd ook een veiligheidsrisico. Niemand wil een apparaat dat gevaarlijk heet aanvoelt bij aanraking.
Hoe wij het “lekkageprobleem” oplossen
Wij lossen dit op door gerichte straling te gebruiken. In plaats van simpelweg een kwartstuub te gebruiken en op het beste te hopen, maken we gebruik van specifieke reflectorvormen en coatings.
Stel het je voor als een zaklamp in plaats van een gewone lamp. We sturen die infraroodfotonen rechtstreeks op de wafer. Door het straalveld te beperken, blijft de energie waar ze hoort. De wafer krijgt de warmte, terwijl de buitenkant van uw apparaat koel blijft.
Omgaan met de intensiteit
Hoge-wattagelampen zijn krachtig. U heeft die kracht nodig om de opwarmtijd te verkorten, maar dit zorgt wel voor veel belasting op het koelsysteem.
Als uw luchtcirculatie of waterloop niet voldoende is, zal u thermische afwijkingen gaan zien. Dat is frustrerend. Om dit te voorkomen, moet u ervoor zorgen dat uw PID-regelaar is afgesteld op de werkelijke responstijd van de lamp. Hierdoor komt u niet boven de gewenste temperatuur.
Het goed regelen ter plaatse
Het vervangen van deze lampen is relatief eenvoudig, maar hier is het belangrijkste: alignering is alles.
Als u zelfs maar een paar millimeter uit de richting bent, ontstaan er hete plekken. Dat is een nachtmerrie voor consistentie. Wij gebruiken precisieliggers zodat het brandpunt elke keer precies in het midden van de wafer terechtkomt.
Het beste deel? Het “ hete muurprobleem ” verdwijnt gewoon. U kunt de procestemperaturen verhogen zonder zorgen te maken over beschadigde kamerclosures of gevaar voor medewerkers. Het apparaat blijft koeler, werkt langer en maakt iedereen veiliger.