Houd je wafers schoon tijdens het drogenproces
Als je in een Class 100-zuiverruimte werkt, weet je natuurlijk al hoe belangrijk het is om geen enkele fout te maken. Eén klein stofdeeltje of wat gas dat vrijkomt uit een verhittings-element kan ervoor zorgen dat je hele partij producten onbruikbaar wordt. Het is een nachtmerrie.
Daarom hebben we besloten om geen gebruik meer te maken van standaardmaterialen, maar in plaats daarvan hoogwaardig synthetisch kwarts te gebruiken voor onze infraroodlampen en reflectoren.
Waarom kwarts zo belangrijk is
Goedkoop glas of kwarts van lage kwaliteit kan de hoge temperaturen niet aan. Wanneer er intense thermische schommelingen optreden, gaan deze onzuiverheden uiteenvallen. Hierdoor ontstaan irriterende vluchtige organische verbindingen en krijgen de lampen een ‘mistig’ uiterlijk.
Ons hoogwaardige kwarts doet dit niet. Het kan de temperatuurschommelingen gemakkelijk aan zonder te barsten of stof af te scheiden. Hierdoor blijven de lampen schoon, en daarmee ook je wafers.
Het juiste heatmanagement
Een lamp is eigenlijk nutteloos als de reflector van slechte kwaliteit is. We hebben veel tijd besteed aan het ontwerp van de lampen, zodat de hitte precies op het juiste punt terechtkomt: op het oppervlak van de wafer.
Omdat de energie geconcentreerd wordt afgegeven, kun je de gewenste droogtemperatuur sneller bereiken. Bovendien hoeft het HVAC-systeem minder hard te werken om de ruimte af te koelen.
Let op: door deze geconcentreerde energie wordt de behuizing erg heet. Zorg ervoor dat je koelventilatoren goed functioneren, anders kan de behuizing smelten of kunnen de draden breken.
Inbedden en schoonhouden
We hebben geprobeerd om de afmetingen van de lampen zo klein mogelijk te houden. Ze zijn ontworpen als vervangbare onderdelen, zodat je ze gemakkelijk kunt vervangen zonder dat je alle kabels eruit hoeft te halen.
Om echt ‘zero pollution’ te bereiken, hebben we geen lijm of goedkoop plastic meer gebruikt. Alles wordt vastgemaakt met brugwerk of mechanische bevestigingen.
Een laatste tip: raak het kwarts nooit aan met blote handen. De oliën in je huid kunnen op het oppervlak blijven zitten, waardoor er hete plekken ontstaan die de lamp eerder kunnen beschadigen. Gebruik liever handschoenen om het kwarts schoon te houden.