ในกระบวนการลิโธกราฟี หากอุณหภูมิเพิ่มขึ้นเพียงครึ่งองศาเดียว ก็จะส่งผลให้การควบคุมมิติที่สำคัญไม่เป็นไปตามมาตรฐาน นอกจากนี้ ปริมาณสารละลายที่ตกค้างอยู่ในโฟโตเรซิสต์ก็จะไม่สามารถควบคุมได้อีกต่อไป ส่งผลให้อัตราการผลิตลดลง ดังนั้นเราจึงออกแบบเครื่องทำความร้อนแบบอินฟราเรดสำหรับการอบโฟโตเรซิสต์ขึ้นมา เพื่อขจัดความผันผวนเหล่านี้ออกไป
สิ่งที่สำคัญจริงๆ เราใช้เครื่องกำเนิดแสงอินฟราเรดคลื่นสั้นที่มีความสามารถในการตอบสนองที่รวดเร็ว และมีการควบคุมสเปกตรัมได้อย่างแม่นยำ ทำให้อุณหภูมิเพิ่มขึ้นอย่างรวดเร็วโดยไม่มีความผิดเพี้ยน คุณจะได้ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิในระดับ ±0.1°C ทั่วพื้นผิวที่ใช้อบ โดยมีการตรวจสอบและยืนยันความสม่ำเสมอนี้ในสภาพการผลิตจริง นอกจากนี้ เครื่องทำความร้อนนี้ยังสามารถทำงานได้ในสภาพแวดล้อมที่มีมาตรฐาน ISO Class 1–100 โดยไม่มีการก่อตัวของอนุภาคหรือก๊าซใดๆ ที่อาจส่งผลเสียต่อคุณภาพของโฟโตเรซิสต์ ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิยังอยู่ในระดับ ±0.2°C ซึ่งช่วยให้กระบวนการผลิตมีความเสถียรตลอดการผลิตวงจรนับพันๆ วงจร
เหตุผลที่สิ่งนี้มีความสำคัญในทางปฏิบัติก็คือ การอบด้วยอุณหภูมิที่เหมาะสมนั้นมีความสำคัญมาก เครื่องกำเนิดแสงอินฟราเรดช่วยลดเวลาการอบ พร้อมทั้งช่วยควบคุมปริมาณสารละลายที่ตกค้างอยู่ ซึ่งช่วยให้ความสม่ำเสมอของความกว้างของวงจรดีขึ้น และลดการต้องทำงานซ้ำ นอกจากนี้ การใช้พลังงานก็ลดลง เพราะเราใช้ความร้อนเพื่อทำให้วัตถุที่ต้องการอบร้อนขึ้น ไม่ใช่ผนังของห้องอบ ความน่าเชื่อถือของเครื่องนี้สามารถรองรับการใช้งานตลอด 24/7 โดยมีข้อมูลเกี่ยวกับอายุการใช้งานที่ชัดเจน ซึ่งช่วยให้การผลิตดำเนินไปได้อย่างราบรื่นและลดการหยุดการผลิตโดยไม่คาดคิด
การติดตั้งก็ง่ายมาก เพียงแค่ปรับตำแหน่งของเครื่องให้ตรงกับห้องอบ และเชื่อมต่อวงจรไฟฟ้าที่เหมาะสมเข้าไป โดยเครื่องทำความร้อนนี้สามารถทำงานร่วมกับอุปกรณ์ถาดวางวงจรมาตรฐานได้ แต่ก็ยังจำเป็นต้องตรวจสอบความสม่ำเสมอของอุณหภูมิสำหรับแต่ละแพลตฟอร์มด้วย การตั้งค่าเครื่องก็ใช้เวลาไม่นาน หลังจากนั้นก็สามารถยืนยันความสม่ำเสมอของอุณหภูมิได้ และเมื่อตั้งค่าเสร็จแล้ว กระบวนการผลิตก็จะสามารถดำเนินต่อไปได้อย่างเสถียร