Ra ngoài dây chuyền
Sự trôi nhiệt không phải là một vấn đề trên bảng trắng. Nó xuất hiện dưới dạng biến thiên độ rộng đường, photoresist không bám dính sau khi nướng mềm, và các vấn đề về năng suất mà bạn cảm nhận được vào cuối tháng. Trong quá trình lithography và xử lý photoresist, bước nướng thiết lập ngân sách nhiệt. Nếu vùng nóng không thể giữ điểm cài đặt trên toàn bề mặt wafer, tính lặp lại sẽ bị ảnh hưởng.
Những gì chúng tôi xây dựng xung quanh Chúng tôi thiết kế ống hồng ngoại quartz trong suốt 2700W xoay quanh một điều: nhiệt độ ổn định nơi quy trình cần. Quartz truyền tải hồng ngoại sóng ngắn một cách sạch sẽ, vì vậy phản ứng nhanh và kiểm soát giữ chặt. Đánh giá 2700W cung cấp cho bạn mật độ công suất để hồi phục nhanh chóng sau các chu kỳ đóng mở mà không bị quá mức. Trên toàn bộ khu vực được gia nhiệt, chúng tôi nhắm đến độ đồng nhất ở mức wafer trong khoảng ±0.1°C, vì vậy các kích thước quan trọng vẫn nằm trong thông số kỹ thuật qua từng lần chạy.
Tại sao nó đứng vững trong sản xuất Ống này có thể lắp thẳng vào cụm nhiệt cho các trạm nướng mềm và nướng cứng, giúp giữ cho các hồ sơ photoresist nhất quán và tạo cho bạn nhiều khoảng trống hơn cho các khuyết tật. Nó hoạt động trong các phòng sạch từ Class 1 đến Class 100 với khí thải thấp và không tạo ra hạt, vì vậy bạn không phải đấu tranh với số lượng hạt trên wafer. Lợi ích là độ dung sai quy trình tốt hơn, ít sự kiện ngoại lệ hơn và khoảng thời gian bảo trì mà bạn có thể lên kế hoạch. Năng lượng cũng được kiểm soát chặt chẽ, vì ống gia nhiệt theo yêu cầu với tổn thất chờ tối thiểu.
Những gì cần chú ý Quartz trong suốt hoạt động tốt, nhưng cần được tôn trọng. Xử lý bằng găng tay sạch và sử dụng các thiết bị có tiêu chuẩn Class; nếu không, bạn có nguy cơ ô nhiễm bề mặt. Khớp hình dạng phản xạ và luồng khí với ống; nếu không, các điểm nóng và độ đồng nhất không đều sẽ trở lại. Lập kế hoạch cho căng thẳng nhiệt-cơ học trong giá đỡ. Sự giãn nở nhiệt là có thật, và sự không thẳng hàng sẽ làm độ đồng nhất trôi theo thời gian.