在线温度漂移问题
在生产线上，温度漂移并不是一个可以在白板上解决的问题。它表现为线宽变化、光刻胶在软烘烤后无法粘附，以及你在月底感受到的良率下降。在光刻和光刻胶处理过程中，烘烤步骤设定了热预算。如果热区无法在晶圆上保持设定点，重复性就会崩溃。
我们构建的基础 我们围绕一个目标设计了2700W的清石英红外管：在工艺需要的地方提供稳定的热量。石英能够干净地传输短波红外，因此响应迅速，控制保持紧密。2700W的额定功率为您提供了在门循环后迅速恢复的功率密度，而不会出现过冲。在加热区域内，我们的目标是在晶圆级保持±0.1℃的均匀性，以便关键尺寸在每次运行中保持在规范内。
为什么在生产中表现良好 该管直接安装在软烘烤和硬烘烤站的热堆中，有助于保持光刻胶轮廓的一致性，并为缺陷提供更大的余量。它在从Class 1到Class 100的洁净室中运行，具有低气体释放和无颗粒生成，因此您无需在晶圆上与颗粒计数作斗争。其结果是更好的工艺容忍度、更少的偏差，以及可以计划的维护间隔。能源也保持稳定，因为该管按需加热，待机损耗最小。
需要注意的事项 清石英性能优越，但需要谨慎对待。请佩戴干净的手套进行操作，并使用符合等级的夹具——否则您会面临表面污染的风险。匹配反射器几何形状和气流与管道；如果不匹配，则热点和不均匀性将再次出现。规划支架中的热机械应力。热膨胀是现实存在的，错位会导致均匀性随时间漂移。