节能型晶圆加热器

在半导体制造过程中减少碳排放：为何选择短波红外线技术？ 在半导体行业里，大家都面临着实现碳中和的目标带来的巨大压力。实际上，大部分能源浪费都发生在晶圆加热和固化阶段。 因此，我们转而使用短波红外线灯。与试图让整个腔室都升温的做法相比——这就好比为了加热一杯咖啡而让整个房间都变暖一样——红外线技术能...