线性红外加热发射器

在生产线上，晶圆不会等待。你可能只有几秒钟的时间，在这段时间内，光刻胶必须经历与上一批和下一批相同的温度曲线。软烘烤。硬烘烤。热预算非常紧张，可接受的能量窗口以毫焦耳计量。 一个热点。一个冷边。几十分之一度的漂移，就可能导致关键尺寸偏移、图案翘起或颗粒嵌入膜层。当加热不稳定时，良率也无法保证。 我...