用于冲洗的防水红外灯

在光刻工艺中，如果冲洗过程中存在水渍或温度不均的问题，那可绝非小问题。这会导致颗粒堆积以及尺寸误差的产生。因此，需要的是能够快速加热、彻底干燥的照明系统——而且不能让水分或颗粒再次进入处理流程中。 关键在于什么？ 我们为冲洗步骤设计了防水的红外灯，这种灯属于短波红外光源：采用石英外壳，卤素灯丝，响...