晶圆加工设备用温度传感器
确保晶圆加热过程绝对干净无污染 在100级洁净室中工作时,任何细微的误差都可能导致严重后果。哪怕有那么一丁点灰尘或加热元件释放出的气体,都会影响产品的良率。这简直就是一场噩梦。
因此,我们不再使用普通材料,而是选用高纯度的合成石英来制造红外灯。
为什么石英如此重要 普通的玻璃根本无法满足要求——它...
用于芯片制造设备维修的红外加热器
在制造车间里,工具的故障不仅会影响设备的正常运转,还会导致产量下降以及生产计划受阻。当某个涂层或烘干模块需要重新进行加热处理,或者粘接头需要更换时,如果使用不当的加热源,就有可能产生颗粒物,从而污染硬件。正因如此,我们才设计了这种红外线加热器来应对这类情况。
从技术层面来看,什么才是重要的? 我们...