确保晶圆加热过程绝对干净无污染
在100级洁净室中工作时，任何细微的误差都可能导致严重后果。哪怕有那么一丁点灰尘或加热元件释放出的气体，都会影响产品的良率。这简直就是一场噩梦。
因此，我们不再使用普通材料，而是选用高纯度的合成石英来制造红外灯。
为什么石英如此重要
普通的玻璃根本无法满足要求——它们在受到热冲击时容易破裂，而且纯度也不足以用于半导体加工。我们使用的则是羟基含量极低的熔融石英。这样一来，灯在加热和冷却过程中就不会产生微小的二氧化硅颗粒。此外，石英外壳还能形成严密的密封结构，使得钨丝始终处于安全的位置，远离加工环境。
将热量精准地传递到所需位置
我们的红外灯能够将能量集中在非常狭窄的光谱范围内。这样，就能精确控制晶圆表面的温度，而不会让整个设备变成一个“烤箱”。升温速度也非常快。不过，由于热量过于集中，必须确保冷却系统能够正常工作。如果气流不均匀，就可能导致设备损坏。不过，为了追求更快的升温速度，这种权衡是值得的。
无需粘合剂，没有碎屑，操作简单
我们设计的这些灯可以直接替换现有灯具。我们知道停机时间是非常宝贵的，所以设计时特意让更换过程变得简单便捷。同时，我们也摒弃了粘合剂和涂层——因为这些物质最终会脱落。取而代之的是机械密封装置，它在真空或可控环境下仍能保持密封效果。这是一种简单、可靠的解决方案。
需要注意的是
高纯度石英虽然能承受极高的温度，但它很容易因为震动而破裂。如果安装支架没有做好减震处理，灯就会因为震动而损坏。一旦密封失效，钨丝就会立刻烧毁。只要确保灯稳定不动，它就能正常工作。